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| 中性能フィルターを内蔵したＣＳ−ＣＵＴＥで実験を行いました。 | |||||||||||||||||||||
| 室内の汚れがひどい場所やさほどのクリーン度は要求されない場所ではランニングコスト軽減のため、中性能フィルター仕様が検討されています。 ＣＳ−ＣＵＴＥに専用治具をセットすると安価なシートタイプの中性能フィルターが装着可能です。 今回は １．クリーンルームレベルの清浄度は要らないがゴミホコリをカットしたいという用途向けのクリーン化ＢＯＸでの実験と ２．クリーンルーム内で発塵が多い工程があるときに飛散防止の目的のフード（逆ミニエン）の実験です。 |
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| 【実験１ 中性能フィルター内蔵のＣＳ−ＣＵＴＥでクリーン化は可能か？】 | |||||||||||||||||||||
| アクリル製卓上クリーンＢＯＸの上部にＣＳ−ＣＵＴＥを搭載し、ＨＥＰＡフィルターの場合とＭＥＰＡ（中性能）フィルターの場合の捕集効果を確認しました。 ※クリーンＢＯＸでのＨＥＰＡフィルターの実験はこちらのページ |
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考察−まず、統一条件として今回はＢＯＸ内にはなにも負荷が無い状態で垂直気流方式、スイッチＯＮ後、約３分で測定しました。ＨＥＰＡフィルターの測定値とグラフは何も言うことは無いです。詳しくはクリーンＢＯＸでの実験をご覧ください。中性能フィルターでも、捕集率を見ると予想以上にパーティクルを除去しています。しかし、中性能なので、この数値が性能として保証されているわけではありませんのでご注意ください。 粒径が小さな0.3μmのパーティクルは半分程度しか取れませんが、１〜５μｍ程度の比較的大きなパーティクルはかなりの高率で除去できます。粒計が大きくなるにつれて捕集効率が良くなっているのが分かります。 目に見えるゴミが対象でクリーンルームの規格に特にあわせる必要は無い場合は、中性能フィルターで十分有効だと考えられます。 |
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【実験２ クリーンルーム内の発塵が多い工程を中性能フィルターで除去する（逆ミニエン）】
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【実験方法】 給気に垂直気流式ＨＥＰＡフィルター入りCUTE ５ｍ３/min、排気に水平気流式中性能入りCUTE ３ｍ３/minをクリーンBOXにセットしました。内部のパーティクルをほぼなくした状態で、エアーダスターで発塵させます。このとき内部のパーティクル数と中性能フィルターの吹き出し口すぐのパーティクル数を比較します。 逆ミニエンは通常、拡散を抑えるため給・排気を同量か内部を弱陰圧にしますが、この実験ではパーティクル条件を整えるために給気を５ｍ３/min、排気を３ｍ３/minにしました。パーティクルカウンターは1分間測定ですが、エアーダスターは発塵量が多かったため１５秒間だけ噴出しました。※このエアーダスターはアスクルで購入したものです。 |
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| 考察−まず、バックグラウンドの数値です。上から給気ON・排気OFFの場合、普通にクリーンBOXになります。５ｍ３/minの陽圧です。次に給気ON・排気ONの場合は給排気がありますが、給気のほうが多いので内部の清浄度は保たれます。そのとき、クリーンBOXの外、すなわち、中性能フィルターの吹き出し口で測定します。内部よりやや多いのはクリーンBOX外なので外気の影響だと考えられます。 次の表はスプレー時の数値です。すごい数値のパーティクルですね。しかし、排気口では、上の大気塵除去の実験と同様にかなりの高率で除塵できました。ここでも、粒径が大きくなるほど捕集効率が上がります。 クリーンルーム内に発塵工程があれば、周りに多くの影響を及ぼします。逆ミニエンで排気をクリーンにしましょう。ＨＥＰＡフィルターでは寿命が心配な場合は、中性能内蔵のCS-CUTEが効果的です。 この実験と同じコンセプトで実行されているのが、こちらの逆ミニエンです。 ※下の方にありますのでスクロールしてください。 |
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中性能フィルター内蔵ＣＳ−ＣＵＴＥの写真
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| ◆中性能フィルターの除去効率について。 中性能フィルターの捕集効率は比色法で表されます。対象は１〜２μｍの粒子で一般的に６０〜９５％の捕集効率のものを良く見かけます。ＣＳ−ＣＵＴＥ用では比色法８０％のシートタイプを使用します。 中性能フィルターでは、本来であれば、クリーンルームの規格（ＦＥＤ−ＳＴＤ２０９Ｄにて）の対象である０．５μｍ以下の粒子の捕集についての規定はありません。 よって、中性能フィルターを使って例えば、クラス１００００保証ということは原則できませんので、ご了承いただけますようお願いします。 |
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