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イエロークリーンブースの一例

露光機用や感光剤保管用のクリーンブースでは紫外線遮断が重要です。クリーンブースの周壁に紫外線を透過しない「UV対応帯電防止ビニールカーテンを使用し、内部の蛍光灯には紫外線防止の紫外線カットフィルターを取り付けます。
このページでは2つの例を紹介していますが、パスボックスや前室、遮光ガラリなどにも工夫をしてみました。参考にしてください。ページの下方では紫外線カットフィルターについて紹介しています。
装置を囲うイエロークリーンブース

写真は装置用クラス1万のクリーンブースです。紫外線を嫌う工程のため、周囲をUVカット可能な帯電防止ビニールシート貼りにしました。また、蛍光灯には紫外線カットフィルター(クリアタイプ)を取り付け、蛍光灯が発する紫外線もカットしています。
暑さ対策として、天井部分には欄間パネルを取り付け、HEPAフィルターユニットが効率的にエアコンから吹き出す涼しい風を吸い込むようにしています。
左下にあるのはパスボックス。ワークにあわせて幅広に作りました。

【前室もイエローブース】

このクリーンブースにはワーク搬入用と作業員が入室する2つの前室があります。いずれも本室と同様にイエローカーテンで囲い、紫外線カットフィルター(クリアタイプ)を取り付けた蛍光灯付きです。クリーンユニットは、CS−CUTE−05Aを使用しました。
エアシャワーは使用せず、前室をクリーンロッカーとしても使います。
クリアタイプ紫外線カットフィルターは410nmまでの紫外線をカットしますが、色目はほとんど透明なので、イエロールーム特有の黄色く暗い感じがかなり軽減されます。

右の写真は、上:前室との間仕切りイエローカーテン/下:FFUと蛍光灯を見上げたところ です。

【パスボックスもイエロータイプ】

完成品を払い出すためのパスボックスです。クリーンブース用なので、クリーンルーム用のような鋼板製の箱ではありません。周囲は帯電防止仕様で紫外線をカットするアクリル板。底板はSUS板貼り。ダーティ側は帯電防止イエローカーテンになっており、HEPAフィルターユニットを2台搭載しています。常にダーティ側に空気が流れるため、扉を開けたとき、外部の汚れた空気が流入しにくいつくりになっています。クリーン側の扉は、ワークが幅広のため、3つ割にし、上にマグネットキャッチ、下に蝶番を付け、ふたは手前に落とすように開きます。

右写真は、上:クリーン側/下:ダーティ側です。
露光実験用イエロークリーンブース
こちらは、アライナで露光実験を行うためのクリーンブースです。上のブースと同様にイエローカーテンで囲われていますが、よりシビアな紫外線除去の環境を作るため、紫外線カットフィルターは440nmまでの紫外線をカットする「ライトイエロータイプ」を採用しました。また、カーテンを床まで伸ばして、下からの光の侵入も防止します。通常はクリーンブースの下部の陽圧を逃がす空間をなくしたので、かわりに遮光ガラリを取り付け、余剰空気を逃がすようにしました。

写真は、上:室内の様子、紫外線カットフィルターのため、明るい黄色になります。通常のイエローランプと比べると約50%UPの照度が得られます。/中:外から見た様子/下:遮光ガラリ
露光実験用イエロークリーンブース
紫外線カットフィルター(蛍光灯カバー)は普通の直管型蛍光灯にカバーとして、はめていただくだけで、蛍光灯から出る紫外線をほぼ100%カットすることが出来ます。
従来はイエローランプ(蛍光灯)が使用されていましたが、黄色味が強く薄暗い光しか得られずあまりよい作業環境とはいえませんでした。
紫外線カットフィルターは市販の直管型20、40W蛍光灯に取り付けるだけ。(HF管は別途アダプタが必要)明るく、作業性のよい空間が得られます。

410nmまでの光をカットする「クリアタイプ」
440nmまでの光をカットする「ライトイエロータイプ」があります。

【特長】

●明るい照度 昼光色に近い明るさで快適な作業空間が得られます。

●防虫効果  昆虫が集まりやすい440nm以下の光をカットするので防虫対策にもなります。

●飛散防止  カバーが蛍光灯の破損による飛散を防止します。
サイズ 40W 外径38mm×内径36mm×1170L
20W 外径38mm×内径36mm×555L
※HF管用もアダプタを取り付けるのでサイズは同じです。
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