クリーンルーム診断

 エアシャワーの管理

付着物の直接的な除去性能は対象物に当たる風速に依存しています。
　エアシャワーにはＨＥＰＡフィルターなど高性能フィルターが搭載されていますがこのフィルターは使用状況によって目詰まりを起こし、次第に風速が落ちてきます。しかし、風速をチェックする機能が搭載されているエアシャワーはそう多いとは言えません。また、ほとんどのエアシャワーが初期風速を２０ｍ／秒以上で設計されていますが、これを下回ると急激に除去率が落ちます。風速の定期的なチェックが必要です。

エアシャワーは吹出し口の位置が決まっていますので、入室した作業員がその場にじっとして動かなければ、同じところにしか風が当たらず効率的な除去ができません。作業員の衣服に付着したダストを効率的に除去するには作業員も除去しやすいような決められた動作をきちんと行うことが必要です。

エアシャワーが動作を開始した直後は、衣服に付着したホコリがエアシャワー内に大量に舞い上がり、その後、徐々に希釈されて綺麗になってい行きます。タイマーの長さが十分でない場合、その途中で出てくることになるので、逆に衣服に多く付着した状態で出たり、気中に多くホコリが浮遊している状態で出てくることになります。

エアシャワーの吹き出し口はクリーンエアを吹き出しているので綺麗だと想像しがちですが、逆にホコリだまりになることがあります。これは　高圧で吹き出す→周囲は相対的に圧が低い→そこへ吹き込む気流が発生する、というベルヌーイの定理による現象です。
　また、エアシャワーは吹き出し速度に対して吸い込み速度が遅いので、吸いきれずに床に溜まるゴミ・ホコリも数多くあります。これらは床の上に溜まります。これが作業員が歩き出すといっしょにまた舞い上がるのです。エアシャワー内でせっかく落としたホコリがクリーンルーム内に入ることになるので何のためのエアシャワーか、分からなくなりますね。
　ホコリの持ち込み防止には粘着マットの活用、ホコリの持ち込み量の見える化にはアイビーキャッチャーが有効です。

プレフィルターはついついメンテナンスがおろそかになりやすいパーツです。詰まった状態で使用するとフィルター枠自体が破損する場合もあります。メインフィルターには目詰まりをチェックする差圧計が付いている場合は、差圧計でフィルター寿命を管理します。また、意外なことですが、カバーを外してみると、破損しているＨＥＰＡフィルターを案外多く見かけます。おそらくは工事時に破損してそのままなのでしょう。ほとんどあけてみることのないエアシャワーですので、フィルターの破損は要注意です。

エアシャワー内にイオナイザーを取り付けるとホコリの再付着を防ぐ効果があるようです。はっきりとした実証実験はまだ行っていませんが、過去の実験からそのように予想しています。しかし、イオナイザーがしっかり動作しているのかどうかは定期的にチェックする必要があります。

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 【スタンプテストの活用】

 手袋でのスタンプテスト