 微粒子可視化装置でお客様の工程の微粒子をモニターするサービスです。（日本国内のみ） |
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| クラス1万環境でも微粒子を見れば、クリーンルームの対策がより鮮明に分かります。 従来からクリーンルーム内の微粒子を直接観察しようという装置はありましたが、その目的はスーパークリーンルームの発塵源を探る最先端の対策用ということで高価なものがほとんどでした。シーズシーでは「微粒子可視化」の安価なサービスを提供いたします。 このサービスは微粒子可視化装置（竹中システム機器製）を使用して、お客様の工程での微粒子の様子をモニターするものです。 このサービスでは微粒子可視化装置のほか、パーティクルカウンター、簡易クリーンベンチ（ＣＳ−ＣＵＴＥ−０５A搭載、W800×D400×H700）、ハンディビデオカメラなどを使用し、測定報告書にはDVD映像を添付します。 この装置で見える微粒子の大きさは約５μｍとやや大きく、クリーンルーム規格の対象となる０．５μｍ径のパーティクルは観察できませんが、だいたいクラス1万前後をターゲットにされる工程では可視化によってより確実にクリーン化を進めることができます。※パーティクルとダストについて詳しくはこちらをご覧ください。 |
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| 【可視化装置での映像例 その１ 人体からの発塵】 | |||||||||
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クリーンルーム内でクリーンクリーニングしたウエアの胸元を叩いた時の発塵の様子です。このような発塵は「ポンピング発塵」と呼ばれ、襟元の隙間から押された空気がインナーのゴミを伴って勢いよく吹き出すことによるものです。 ところで、すごい発塵ですね。クリーニング後なのでウエア自身からの発塵はほとんどありません。また、見えている粒子の大きさは５〜１０μｍ程度です。 この映像を見ていただければ、クリーンルームの維持管理には作業員からの発塵を如何に抑えるか、また、作業員の教育をどうするのかが大変重要だということがわかります。 ※ご注意 ムービーファイルは約１．３ＭＢあります。約８秒です。 ※関連情報 「パーティクルとダスト」の違いはこちらをご覧ください。 |
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| 【可視化装置での映像例 その２ クリーンベンチ内での発塵】 | |||||||||
| 下記画像は上の簡易クリーンベンチでの映像（動画）から取り出した静止画の例です。 左から、クリーンユニットを作動させて１〜２分の状態。めだった微粒子はなく内部がきれいな状態であることがわかります。右下の子画面がハンディビデオカメラでの映像です。黒い板がだいたいの測定範囲を表し、真ん中のグリーンの光がモニターの基準線になります。 次に素手で手をたたいてみました。多数の微粒子が飛散するのが分かります。もちろん、肉眼では確認することはできません。 その次は緩衝材（エアクッション）を振ってみました。同様に多数の微粒子が飛散します。 最後は普通紙のノートを振ってみました。これも多数の微粒子が確認できますが、いままでよりやや小さく細い微粒子のように見えます。 |
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| 【サービスの概要】 | |||||||||
| ◆竹中システム機器製 微粒子可視化装置を使用したお客様の工程での微粒子をモニターするサービスです。 →装置の仕様・特徴はこちらをご覧ください。装置の販売も行っております。 ◆ＣＳ−ＣＵＴＥを使った簡易クリーンベンチやパーティクルカウンターも用意しますので、クリーンな状態との比較やパーティクルの数値も同時に確認することができます。 ◆TVニュースなどでよく見かける親子画面を使って、パーティクルモニター映像とビデオカメラの映像を合成します。これにより、発塵と周囲環境の様子を比較したり、特定の動作と発塵の因果関係を調べたりすることが可能です。 ◆報告書にはモニターの様子をまとめたDVDを添付しますので、資料としての取り扱いに便利です。 |
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| 【こんな用途に】 | |||||||||
| １．クリーン化を検討している工程での現状確認とクリーン化の効果 ２．特定工程や動作での微粒子の発生の確認 ・人体・衣服からの発塵（動作発塵やポンピング発塵の確認、教育資料として） ・装置からの発塵（不良原因となる発塵の原因調査など） ３．長時間観察によるパーティクルの変化 ・朝夕の入退室や特定装置の稼動時などのパーティクルの変化を長時間連続にて観察 ・パーティクルカウンターでは測定しにくい長時間での変化を目視で確認できます。 |
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| 【サービスの流れ】 | 【測定のスケジュール例】 | ||||||||
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| 【測定費用】 | |||||||||
| 微粒子可視化装置による測定サービス ・使用機器：微粒子可視化装置・簡易クリーンベンチ・パーティクルカウンター・ハンディビデオカメラ ・所要時間：約５〜６時間 標準価格：１９０，０００円（消費税別） ※メールマガジン会員様向け特別価格があります。詳しくはご登録の上、会員ページをご覧ください。ご登録はこちら ※別途移動経費、機器運搬費、出張費がかかります。 ※機器の貸し出しサービスではありません。 |
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| シーズシー有限会社 info@csc-biz.com TEL：078-252-7201/FAX：078-252-7210 |
 クリーンルーム内のダストが直接観察可能になりました！ |
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| シーズシーでは微粒子可視化装置の販売を開始しました。（竹中システム機器製） この装置はグリーンレーザーのシート光を使い、空気中に浮遊する微粒子の様子をモニターします。 この装置ではクリーンルーム規格の対象となる０．５μｍ径のパーティクルは観察できません。ですが、実際には、クラス１万を目標とされるユーザー様の大多数が数１０μｍ〜数１００μｍのゴミを直接歩留まりの影響する対象とされています。 従来、パーティクルカウンターで測定が難しかったこの領域のゴミを「見る」という手段で測定可能です。 |
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| 【使用例】 | ||||
| ◆これからクリーン化したい工程の現状調査 ◆すでにクリーン化した工程においてゴミの付着が減らないなどの原因調査 ◆クリーンルーム内の装置、パーツなどからの発塵 ◆作業員の動作による発塵のチェック、衣服などからの発塵のチェック |
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| 【動作説明】 | ||||
| １）レーザーダイオードから発するレーザー光線は、共振ミラーにあたりＸ方向に走査されます。 ２）走査したレーザー光の範囲内に微粒子が浮遊していた場合、レーザー光は微粒子に当たって散乱し、微粒子が光ります。 ３）この散乱光を高感度の白黒ＣＣＤビデオカメラで撮影し、モニターに映し出します。 |
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| 【特長】 | |
| ◆投光部と受光部が一体設計されているため省スペースです。また、移動型なので、どこでも容易にモニターが可能です。 ◆映像信号を外部出力することが出来るのでシステムの拡張が可能です。 ◆必要最小限のシステムで大変安価です。 |
| 【概略仕様】 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 【パーティクルとダスト】 | |||
通常、クリーンエリア内の微粒子の計測にはパーティクルカウンターを使用します。しかし、クラス１万エリアを管理するのに実際パーティクルカウンターを使ってみるといくつかの問題点があることに気づきます。
微粒子可視化装置では直接ゴミの動きを観察することが可能ですので、「ゴミの見える化」によって、有効な対策をとることができ、このような状況に大きな力を発揮します。 |
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| 【浮遊と落下のパーティクル数の違い】 | |||
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O右表は一般環境下にてパーティクルカウンターの先に漏斗を付けて上向け、下向けの順に測定しその比率を記したものです。粒径が大きくなると落下するものが多くなるます。
つまり、通常のパーティクルカウンターの測定では落下するダストは狭い範囲のものしか測定できていないということが分かります。
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| 【発塵はクリーンルームの中からやってくる】 | |||
| クリーン機器で対策できるものは「大気中のゴミ」に過ぎません。下に主なクリーンルームの発塵源をまとめてみました。対策としてはソフト面での対策が大切です。クリーンルームの４原則や５Ｓ運動を見直すのが有効です。 | |||
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lゴミは何処からでてくるのか？
クリーンルームの４原則の厳守
５Ｓ運動の重要性
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