クリーンルームのダストが見える「ポラリオン　ライト」

クリーンルームのダストが見える「ポラリオン・クリーンルーム・ライト」

クリーンルームの４原則に「ゴミを堆積させない」というのがあります。堆積させないといっても、相手は目に見えない微小なゴミ。従来は、ゴミがあるのか、無いのか、見た目にはまったく分かりませんでした。
「POLARION　ＣＬＥＡＮＲＯＯＭ　LIGHT」は条件がよければクリーンルーム内の約１０μｍ^＊１程度のダストまで見ることが出来る超強力ハンディライトです。
クリーンルームの床や壁、クリーンブースのカーテンに付着したダスト、クリーンルーム中に浮遊するダスト、ワークの表面に付着したダスト、クラックなどのワークの傷、外観不良などを強力に浮かび上がらせます。
＊１　通常環境下では約１００μｍ程度のゴミを見ることができます。

ポラリオンライトを使用するとクリーンルーム内に意外と多い「繊維くず」「糸ゴミ」を発見することが可能です。パーティクルカウンターで測定すると清浄度は規定値以下なのに目に見えるようなゴミ不良が多い、というような場合には、ポラリオンライトでその原因・正体を見つけることができます。このたび、さらに強化するツールとしてポラリオンライトＮＰ－１用、ＰＬシリーズ用　ブラックライトフィルターを発売することとなりました。詳しくはこちらのページをご覧ください。

ポラリオンライトを使って付着塵、落下塵を見る場合、ワークによっては見えにくいものがあります。ポラリオンライトは平で凹凸物がないワークでは視認性が大変良いのですが、表面形状がでこぼこしていたり、突起物などがあるとそこで強い反射が起こり眩しくて付着しているゴミ・ホコリの確認が難しくなるからです。

そこで、ポラリオンライトと組合わせることにより、常にベストコンディションで工程内の落下塵を確認する方法を考案しました。このツールを使えば、ポラリオンライトを最高によく見える状態で、ゴミを見ることができます！言わば、「ポラリオンライトとゴミを映す魔法の鏡」といったところでしょうか。詳しくはこちらのページをご覧ください。

ポラリオンライトと組合わせる
とゴミが見えるシリコンウエハ

「ポラリオンライト」はもともとは軍用・レスキュー用に使用されていた強力なHID光源のハンディサーチライトです。従来ではクリーンルームの検査用にはハロゲンランプなどが使われていましたが、机上でワークの確認用としてのみの利用がほとんどでした。「POLARION　LIGHT」ケタ違いの強力さで、よい条件下ではワークの表面のゴミや傷、空中に浮遊する約１０μｍ程度の大きさのゴミまで強力に浮き上がらせます。

※クリックすると写真が拡大します。

作業台の上のゴミです。

同じ写真を拡大しました。

ライトを直接当ててない状態。ゴミは見えません。

清掃後。

ライトは低い角度で当てるとワーク表面の傷・ゴミが浮き上がるように見えてきます。
ガラスのように透明なワークでは裏面から当てるのも効果的です。
反対に凹凸が大きく光を乱反射するような表面のワークではよい状態で見ることは出来ません。（非常に低い角度で当てれば、見えやすくなります。詳しくはこちらのページに解説があります。）

シートの上の異物

拡大しました。

一般環境下では、目には見えませんが、左写真のように非常に多くのゴミ・ホコリが存在しています。クリーンルームの中ではその数は大変少なくなりますが、全く無いわけではありません。では、どのくらいの数があり、どのように飛んでいるのか？このライトを使うことで気中に漂うゴミ・ホコリを観測することができます。

ライトを使うとどうしてゴミがよく見えるのでしょうか？詳しくはこちらのページ

クリーンルームの床にライトを当ててみました。
すると塗装ムラに混じって、ゴミが浮かび上がってきました。
従来はなかなか確認できなかったクリーンルームのゴミの体積が目視確認できるようになります。

床に当てました。

左写真のアップです。

シーズシーでは好評の「ポラリオン　クリーンルーム　ライト」に加えてローコストタイプのクリーンルームライト「ＰＬ１５／２５」を新たに販売開始しました。
ポラリオンライトが特殊反射鏡を備えた３５Ｗタイプであるのに対し、ＰＬ１５／２５はそれぞれ１５Ｗ、２５Ｗの出力で、通常反射鏡式です。反面、低コスト性とバッテリーによる長時間駆動を重視しました。※ＰＬ１５／２５では２種類のバッテリーから選ぶことができます。
クリーンルーム清掃確認やワーク、装置に付着したゴミの確認などにぜひご利用ください。

３種類のクリーンルームライト

２００９年１１月１６日（月）８：３０～ＴＢＳ系列で放映された人気情報番組「はなまるマーケット」のエアコンに付着したカビ胞子を可視化するのにシーズシーのポラリオンライトが使用されました。詳しくはこちらをご覧ください！

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下のメール・お電話・FAXをご利用ください。ご了承お願いします。

シーズシー有限会社
info@csc-biz.com
TEL：078-252-7201/FAX：078-252-7210


以下のページではポラリオン　ライトのアプリケーションや他のアイテムとの比較、仕様などについて詳しく解説しています。各ページへはロゴをクリックしてください。
		このページでは、クリーンルーム内のダストについて、従来から使用されているクリーンルームの標準的な評価装置「パーティクルカウンター」と「ポラリオン　クリーンルーム　ライト」を比較しながら解説しています。　また、粘着ローラー、掃除機、ワイパーでのゴミの除去を実験しました。「ポラリオン　クリーンルーム　ライト」でその結果を見ると・・・
		ポラリオンライトを使うと通常は目に見えない微小なダストを直接目視確認することができます。ここでは、どのように見えるのか、写真／動画で紹介します。
		世の中で一番平らなもの・・・シリコンウエハ。ポラリオンライトとのカプリングで良好な状態で工程内の落下塵を確認することができます。
		ポラリオンライトを使えば、表面に付着したダストの確認も可能です。さらにゴミが発生する様子を撮影する試みも・・・。
		ポラリオンライトはさまざまな業界のクリーンリームに使用されています。ここでは、ご利用いただいたお客様の声を紹介しています。
		概略仕様・販売セットとオプションの確認はこちらのページでお願いします。
		クリーンルームの維持管理のために清掃は欠かせません。クリーンルームユーザーなら誰もが知っていることですが・・・。ポラリオンライトでクリーンルームの清掃を１０倍効果的にする方法を提案します。
		顕微鏡を使った検査工程での使用例を紹介しています。
		どうして、ポラリオンライトを使うと通常は見えない微小なダストが見えるのでしょうか？また、どのように見ればより効果的なのか、を考察します。
		ポラリオンライトは新聞やＴＶでも紹介されています。一例を紹介しています。

Ｗ１０００×Ｄ６５０×Ｈ６５０の簡易クリーンベンチ内にて素手で手をたたきました。ライトがなければ、もちろん何も見えません。そこでポラリオンライトを上向きに置き、もう一度、手をたたいたときの写真が左のものです。一瞬で、多数のダストが広範囲に飛び散っています。（ライトの光束の中だけ微粒子が浮き上がって見えます。）
また、下段は連続写真です。少し、分かりにくいですが、徐々にダストが落下していく様子を捉えています。
細長く軌跡が見えるのはカメラのシャッター速度によるものです。

上のようにダストを発生させた状態で擦った（静電気を発生させた）アクリル板を近づけてみました。これも写真では分かりにくいのですが、目視ではダストが静電気で吸い着く様子が観察できました。
中には、逆に反発して遠ざかるものも気流に乗ってワークを避けて流れ落ちるものもありました。また、上からだけでなく、下からもくっつくことが確認できました。

上の状態から1分ほどたつとクリーンベンチ内のダストはほとんど除去されて空間を漂うダストは見えなくなります。
そのとき、ワークの下から飛んできて付着するゴミがあるのが観察されました。
この場合は強制的に発生させたダストがライトのレンズ上に乗っており、それが静電気吸着によりワークに引き寄せられたようです。
※動きが速いので軌跡が見えます。
考えてみるとワークの下はクリーンエアの気流もなく、無防備。改めてクリーンベンチなど作業環境の清掃や、クリーンルーム４原則の「堆積させない」「発生したゴミは排除する」の大切さが分かるシーンです。

この映像では静電気を起こしたプレートの上を流れていく微小なホコリが静電気で「流れ」とは別にくっついたり、離れたりする様子が分かります。
従来では、レーザー可視化装置など高価な設備を使用しなければ確認できなかった実験ですが、ポラリオンライトとデジカメ動画機能の組合せで、簡単に動画に撮る事が出来ます。
※詳しくは静電気実験のページをご覧ください。


大型ガラスパネル製品製造	基板上：浮遊ゴミが付着したものを見つけることが出来ます、使い方によっては数１０ミクロンレベルなら探せるかなと思われます。ただ、ハンディなので使い方は工夫が必要でしょう。装置：清掃の行き届いていないところが一目でわかるため、メンテナンス時には非常に有効なツールと言えます。クリーンルームの床：見落としているゴミがくっきりと浮かび上がるので清掃チェックにも使えます。評価用として：ただし、よほどひどい埃でないと普通のデジタルカメラでは写りませんでした（判別できない）。　ということで、このライトはクリーン化推進を目的とした使い方には、価値ありと判断できます。
樹脂加工製品製造	作業台上にゴミが残っているのが確認できました。通常は作業後に清掃を行っていますが、必ずしも十分でなかったことが分かりました。
エレクトロニクス製品組立	クリーンベンチ内で保護フィルムをはがす作業でベンチ内はパーティクルゼロで静電気除去も行っているのに、はがす瞬間にフィルムからワークにゴミが移っていました。ライトを使うことでゴミがあるなしが分かったので、エアガンでフィルムのゴミを吹き飛ばし、対策しました。
自動車塗装	上塗工程では２０μｍ以上のパーティクル管理をしていましたが、「悪さ加減」がデータで伝わりにくいという問題がありました。ポラリオンライトで「見える化」するようになり、具体的な毛ブツの動きも分かり、改善の効果も目視で確かめられるようになりました。デジカメで動画にして管理すると分かりやすいです。塗装のアプリケーションは金属部品　塗装技術最前線（塗装技術士　平田氏のブログ）にてご紹介いただいております。・搬送系から落下するゴミの観察・塗装の中間工程でのゴミの観察


グリーンフィルター	背面	側面	別売キャリングケース

【ＮＰ－１　概略仕様】

品名	ポラリオン　クリーンルーム　ライト
型式	NP-1

光源	HID

色温度	4300K

光束	3400ルーメン

連続点灯時間	約90分

ランプ寿命	約3000時間

電源	充電式リチウムイオン電池

充電時間	3.5時間±0.5時間

サイズ	89mm×250mm×135mm

重量	1.65kg

そこの部分に滑り止めゴムがついています。また、底面中心部には三脚固定用のねじがあります。

ハンドル部のボタンスイッチでON/OFFします。

充電して持ち運びできるバッテリーパックセット。クリーンルームの隅々までチェックできます。

ACにつないで連続使用するAC電源キットセット。検査工程での使用はこちらをお選びください。

写真撮影・デモにはXCRという機種とNP-1を併用しております。実際の販売はNP-1のみとなります。

※ポラリオン　クリーンルーム　ライトは以下の２パターンでのセット販売となります。用途に合わせてお選びください。

・バッテリーパックセット（構成品：ライト　ＮＰ－１、ＡＣアダプター、バッテリーパック（内蔵）、電源コネクタ、グリーンフィルター）
・ＡＣ電源キットセット（構成品：ライト　ＮＰ－１、ＡＣ電源キット、電源コネクタ、グリーンフィルター）

バッテリーパックセットは持ち運びには便利ですが、ＡＣ電源につないだ状態での連続使用ができません。連続使用の場合はＡＣ電源キットセットをお選びください。また、併用される場合は別売のバッテリーパック、またはＡＣ電源キットをあわせてお買い求めください。

【露光室用オプション】　ポラリオンライト用・ＵＶカットフィルター

右はポラリオン　ライトに付属しているグリーンフィルターの分光光度です。緑色の光の波長である５５０nmを中心に高いピークがありますが、紫外域、赤外域にもピークがあります。
このままでは、リソ室など感光剤をあつかうクリーンルーム（イエロールーム）では使用できません。そこでGフィルターに４５０ｎｍ以下の波長をカットするガラスを組み合わせた「ポラリオンライト用ＵＶカットフィルター」をご用意しました。

Ｇフィルターの分光光度


左ＰＬ２５・右ＰＬ１5	２種類のバッテリー	商品構成	キャリングケース付

【PL１５Ｓ／Ｌ概略仕様】

品名	クリーンルーム　ライト
型式	PL15S	PL15L

光源	HID

色温度	7000K±500

光束	900ルーメン

連続点灯時間	約1時間40分	約3時間40分

ランプ寿命	約1000時間±100

電源	充電式リチウムイオン電池

サイズ	80φ×290mm	80φ×356mm

重量	880g	1080g

ランプ部分に放熱フィンがないのがＰＬ１５

それぞれにＳ（標準）、Ｌ（長時間）のバッテリーが選択できます。

【PL２５Ｓ／Ｌ概略仕様】

品名	クリーンルーム　ライト
型式	PL25S	PL25L

光源	HID

色温度	6000K±500

光束	1500ルーメン

連続点灯時間	約1時間10分	約2時間30分

ランプ寿命	約1000時間±100

電源	充電式リチウムイオン電池

サイズ	80φ×290mm	80φ×356mm

重量	930g	1130g

ＰＬ１５で気中のゴミを見てみました。ポラリオンＮＰ－1と比べるとかなり少ないゴミしか見えません。

効果を発揮するのは付着ゴミの確認・清掃の確認です。

２００９年１１月１６日（月）８：３０～ＴＢＳ系列で放映された人気情報番組「はなまるマーケット」のエアコンに付着したカビ胞子を可視化するのにシーズシーのポラリオンライトが使用されました。

詳しくはこちらのページをご覧ください。

２００９年４月１８日（土）１９：５６～日本テレビ系列で放映された人気番組「世界一受けたい授業」の中で東京厚生年金病院の石井正則先生の「鼻」に関する講義中にシーズシーのポラリオンライトがスタジオの埃を見るのに使用されました。

ポラリオンライトで出演者の服や髪の毛から出るホコリを目視確認していました。
右上画面にしっかり「協力：シーズシー」の文字が見えます！

「食品包装」０８年１月号に「クリーンルームにおけるゴミの目視化」～超光源ポラリオンライトの活用～掲載

「食品包装」０８年１月号より

「食品包装」誌は軟包装材業界の専門誌として幅広い読者層を持つ業界紙で、近年は業界のニーズを反映してクリーン化をテーマにしたアイテムの紹介・記事が多くなっています。
０８年１月号に「ポラリオンライト」を使った「クリーンルームにおけるゴミの目視化」という記事が掲載されました。ポラリオンライトがよく見える原理・使い方・アプリケーションなどを紹介しています。

「POLARION　CLEANROOM　LIGHT」が「半導体産業新聞０７年５月２３日号」の記事で取り上げられました。

半導体産業新聞０７年５月２３日号より

同号は「クリーンルーム裾野広がる」という見出しで「クリーンルーム・ミニエン化技術」を特集。その中で、シーズシー有限会社の新商品としてポラリオン　クリーンルーム　ライトが紹介されました。

【記事の概略】

特にクラス1万の環境下では空気中に漂う微小ダスト以上に比較的大きくワークに付着しやすい数十μｍのダストが歩留まりに大きく影響する。このライトを用いることで状態と発生プロセスを観察し、ダストの発生を抑制すれば歩留まりを大きく向上できると提案している。・・・後略・・・

▼詳しくはシーズシーの出版情報のページをご覧ください。

「POLARION　CLEANROOM　LIGHT」がテレビ大阪の６月６日の夕方のニュースで放映されました。

’０７年６月６日～９日インテックス大阪にて開催された「PLATEX　OSAKA　２００７」に出展しました。

この展示会ではなんとテレビの取材を受けました。「クリーンルームのゴミが見える　ポラリオンライト」です。テレビ大阪の６月６日の夕方のニュースでちょこっとだけ放映されました。

←ポラリオンライトによるサンプルフィルムにダストが付着している様子。