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パーティクルカウンター入門編
パーティクルカウンター入門編
初めてパーティクルカウンターをご購入される方は必見です！
クリーンルームやクリーンブース、ベンチなど、クリーン機器を設置した後はクリーン度の維持管理が大切なテーマとなります。
目に見えない微小なゴミ・ホコリを対象とするクリーンエリアの状態を知るにはパーティクルカウンターが必需品。
このページでは初めてパーティクルカウンターをご購入される方にお勧めのハンディタイプについて徹底的に検証します。
クリーンルーム清浄度の維持管理のために
初期には十分な清浄度を保っているクリーン機器も使用する間にさまざまな要因で清浄度が落ちていることがあります。ある日突然、気が付いて愕然とすることがないように、日ごろの状態をチェックすることが重要です。パーティクルカウンターで定期的に測定することをお勧めします。

　★クリーン度の低下にはこんな原因が…。
  • クリーンルーム内で使用する機械（動力まわり）からの発塵
  • クリーンルーム内で使用する備品からの発塵
  • 作業員からの発塵
  • 空調機のトラブル、フィルターつまりなどによるクリーンルームの能力低下
パーティクルカウンターのイメージ写真
まず、クリーンルームの規格について考えてみましょう。
★清浄度の単位体積は１ｃｆ？　１立方メートル？　同じクリーンルームといっても規格によって管理値が違います★

※クリーンルームの清浄度をあらわす規格はＦＥＤ２０９シリーズやＩＳＯ１４６４４シリーズが使われています。
ＦＥＤ２０９Ｄは現在でもよく使用される規格で「０．５μｍを対象に１ＣＦ（キュービックフィート＝1辺が１フィートの立方体の体積を表す表記で約２８．３リットルに相当します）中のパーティクルの上限値」です。
よく聞くクラス１００、１０００、１００００という分け方はこのＦＥＤ２０９Ｄという規格に基づいています。

それに対しＦＥＤ２０９Ｅ以降では単位体積に１立方メートルを使用するようになりました。（１ＣＦを併記）

なお、現在では上記の規格はどちらも廃止され、ＩＳＯ１４６４４シリーズに統一されています。この規格でも対象体積を１ｍ３と定めていますが、しかし、パーティクルカウンターの試料の吸引量から考えてもＦＥＤ２０９Ｄがいまだに多く使用されているという現実には変わりありません。
（ＩＳＯではＩＳＯ　Class１、２・・・９のように言います。）

つまり、違う規格が並行して使用されている現状では業界やエンドユーザーに必要とされている清浄度はどの規格に基づいて言われているのか、確認しておく必要がありますね。
クリーンルームの定義と規格について詳しくはこちらのページをご覧下さい。
測定方法に決まりはあるのでしょうか？

測定方法にも決まりがあります。
しかし、下記別表による測定方法では対象をクラス１〜４としていて、これはFED209Dではクラス10に相当します。ということはクラス100、１０００、１００００などは、この測定方法によらなくてもいいわけです。
つまり、例えば、クラス10000の場合には、製造ラインまたは環境の重要性により測定ポイント数を絞り、測定ポイントに重みをつけたことを説明出来ればいいというわけです。
（規格では原則として、面積3×3mに1点）
JIS９９２０（ＩＳＯ１４６４４規格の前身）による測定方法はこちらをご覧下さい。
リオンのハンディタイプ　パーティクルカウンター　KR-12A　で　実際に測定してみましょう。
まずは、設定から始めます。上記のクリーンルームの規格「FED209D」に沿ったかたちの測定が出来るように設定します。
「POWER」ボタンを押してメイン画面からF2キーを押すとSetup Stage1画面になります。
まず、設定を確認しましょう。
Setup Stage1画面では次のような設定にします。

Cnt Mode 　　　　　　　= Concentration
Sample Volume　　　　=0.1CF
Cnt Data　　　　　　　　=Cumulative
Number of Samples　=1
この設定で、動作としては、０．１CFの空気を吸引し、その中に含まれる粒子数をカウントします。
表示は各粒径区分の累積値を１CF中の濃度に換算します。
F4キーを押してメイン画面に戻ります。
F1キーを押すと測定を開始します。
メイン画面では、１CFに含まれる各粒径ごとのパーティクル数のほかに、バッテリー残量、温・湿度などを表示します。
その他の代表的な設定方法をご紹介します。
Totalize Mode　では、カウントした個数を表示します。
このモードでは、試料中の実測値を読み取ることが出来ます。
Number of Samples　では、サンプル数を設定できます。
クリーンルームやブースの起動時から安定するまでのデータを連続して測定する場合や複数回測定して平均値をとる場合などに使用します。
メイン画面から「Clock」ボタンを押すと、クロック設定画面になります。
その中の「Delay」で次の測定までのインターバルを設定することが出来ます。例えば、1時間ごとに自動測定するといった使い方が出来ます。
左写真では、２分に設定してあります。
測定者のパーティクル数をカウントしないように工夫しましょう。
プロが測定した場合とユーザー様が測定した場合、ずいぶんと違う測定結果が出る場合があります。一番の可能性は測定者（自分自身）パーティクルを測定しているケースです。
ハンディタイプなのに手に持ってはいけない？！
影響を少なくするにはこんな方法があります。
  • 三脚を使用する。（底部のストラップ用のネジに市販のカメラ用三脚を取り付けることが出来る）
  • 等速吸引プローブをはずして、吸引チューブを差込み、吸い込み口を測定者から離す。
  • メーカー推奨のワゴンや測定スタンドを使用する。
  • パソコン上のスタートボタンで遠隔操作する。
  • サンプル数を複数回にして、測定者が離れたあとのサンプルを採用する。
KR-12Aにはパソコン用のソフトが付属しています。このソフトを使って、パソコンにデータを取り込むことが出来ます。取り込んだデータはMSエクセルなどで読み込むことが出来ます。
付属のパソコンソフトの画面です。
Start Countで測定を開始します。LANケーブルで延長できるので、遠隔操作も可能です。
Get Buffer　でデータをパソコンに取り込みます。
500データをメモリ出来るので、複数ポイントの測定に便利。
０５年３月出荷分から新機能が追加されました！測定バッファを本体で確認できる機能やパスワード機能が追加されました。
　　詳しくはこちらをご覧ください。
リオンのハンドヘルドパーティクルカウンターの特長
ＫＲ−１２Ａ／小さなボディでも多機能ハンディタイプ
  • 見やすいグラフィック液晶表示と操作のしやすい大きなスイッチ
  • 測定粒径は０．３、０．５、０．７、１．０、２．０、５．０μｍの６チャンネル
  • 温湿度センサーを内臓
  • バッテリー駆動。連続運転で約8時間使用可能（充電2時間）
  • バッファーメモリー５００までデータを記憶可能
  • パソコンへのダウンロード用にユーティリティソフトが付属
  • 測定時間の設定で０．０１ＣＦ、１Ｌ、０．１ＣＦ、１０Ｌ、１ＣＦ、マニュアルの測定が可能
  • 3種類の動作モード
ＫＲ−１１Ａ／フィルターリーク測定と清浄度測定に便利な２チャンネル
  • 見やすいグラフィック液晶表示と操作のしやすい大きなスイッチ
  • 測定粒径は０．３、０．５μｍの２チャンネル
  • バッテリー駆動。連続運転で約8時間使用可能（充電2時間）
  • バッファーメモリー１００までデータを記憶可能
  • パソコンへのダウンロード用は別売りユーティリティソフトあり
  • 3種類の動作モードで連続モニタリングや指定試料空気量の自動測定が可能
ＫＲ−１１B／歩留まりに影響する大きなパーティクル測定と清浄度測定に便利な２チャンネル
  • 測定粒径は０．５，５，０μmの2チャンネル
  • その他の機能はＫＲ−１１Ａに同じです。
そのほかの機種についてもお問合せください。
シーズシー有限会社
お問い合わせはこちらへinfo@csc-biz.com
または電話078-252-7201　FAX078-252-7210へ。