半導体製造の盲点　レチクル管理システム

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半導体はクリーンルームという特別な環境下で製造されています。それは細かいゴミが付着しても欠陥品となってしまうくらいデリケートなものだからです。製造現場では欠陥品の製造率を低くするため（＝歩留向上という）日夜、ゴミの混入防止に努めています。しかし、半導体の製造過程の根本にある「レチクル（マスク）の管理」の重要性は多くの工場で見落とされがちです。年々、少量多品種化していく半導体製造において膨大に増えていくレチクル（マスク）をきちんと管理できないといくらクリーンルームのクリーン度を上げても、レチクル（マスク）の取り違えなどが起こり欠陥品を生むことになります。ガイオテクノロジーはクリーンルームの性能をフルに歩留まりに反映させるべくレチクル（マスク）の管理に着目しました。コンピュータによる徹底したレチクル（マスク）の管理が人間のミスを、１００％防ぎます。棚はゴミの発生を防ぐため、ヘアライン加工、さらにデルリンレールを採用しました。管理ソフトはクリーンスーツ着用状態で操作することを念頭においた使い易いＧＵＩを用意しました。また、レチクル（マスク）個々の細かいキズを記録したり、操作履歴、入出庫状態が１目でわかるグラフを表示したりと実務に必要な情報を全て管理できます。半自動型を採用したことにより低価格での提供と施工済みのクリーンルームにあとから設置できる自由度の高いシステムが完成しました。半導体製造の「歩留向上」はレチクル管理から始まります！！	(クリーンルーム内の設置例)
ガイオテクノロジー株式会社　　統一営業部　杉町　義之

そこで、あるデバイスメーカーの会員にレチクル管理について質問をしてみました。Ｑ１）レチクルの管理方法は自動ですか？マニュアルですか？自動とマニュアルを併用しています。Ｑ２）レチクルの保管枚数はどのくらいでしょう？約１万枚（推定）です。Ｑ３）現在のレチクルの管理方法で問題点を感じることがありますか？現在生産していない過去の製品のレチクルについても製品保証で保管しなければならず、その管理が難しい。クリーンルーム内で保管するが長期間保管すると温度や湿度の影響でペリクルがはがれることもあります。Ｑ４）半自動の管理システムに興味はありますか？興味はあるが、今使っている分は現在のシステムで満足であり、使っていないレチクルを自動で管理しようとすると場所やコストがかかるので導入は難しいかもしれません。ガイオテクノロジーの提案長期保管の解決策は高性能なストッカーをお使い頂くことがベストと考えます。弊社のシステムは頻繁にレチクルを入出庫する状況下で大きなメリットを生みます。レチクルのキズ状態や使用回数（洗浄のタイミング）などを簡単に設定することができお客様のノウハウを反映することができます。また、空きスペースを有効に活用できるセパレ-ブル型の棚と管理ソフトだけご利用頂くことも可能なフレキシブルなシステムとなっております。

横浜事業所　営業グループ　TEL:045-450-5692 E-Mail:reticle@gaio.co.jp