2017.01.10更新

床清掃によるゴミの飛散の評価法
もの作りなどの作業環境下において、異物は様々な条件から床に飛散し蓄積します。例えば、靴底に付着していた異物(砂、繊維屑等)の脱落、衣服などから発生した異物の持ち込み、各種製造プロセスからの発塵や組立て部品からの持込み、外部空気取入れ口からの異物吹き出し、虫などの挙動不審な異物など、全く予想もつかない場合もあります。なので、床清掃が必要不可欠で、清掃方法やツールの選定・評価がとても大事です。 今回はＲＡＣＣＡＲを用いた評価法について、ご紹介したいと思います。
「掃除」と「清掃」の違い
異物対策でお困りの皆様は「掃除」と「清掃」の区別ができるでしょうか？ 調べて簡単に要約しますと、 「掃除」はゴミや汚れがある場所のみの作業のこと。 「清掃」は隅々まできれいにする作業のこと。 「清掃」の方が「掃除」より念入りな作業ということだそうです。 様々な要因が絡んだ異物対策には、「掃除」→「清掃」へのスライドがポイントとなるのではないでしょうか？
効果的に「清掃」するには
異物不良撲滅において清掃(掃除)は必要不可欠です。手抜きは厳禁であり、二度手間にならないよう真剣に取り組まなくてはなりません。清掃(掃除)のやり方ひとつにおいても、知恵を使い、アイデアを取込み、清掃(掃除)完了後のイメージをもって取込むことが重要なことだと思いますが、良かれと思いつつも、背反もあるということもあります。清掃(掃除)も個別の異物対策と同様、対象とする異物の成分や大きさや挙動特性を知り、理論的な掃除(清掃)道具の選択に加え、適切な清掃(掃除)のやり方が重要であると思います。
ゴミの飛散
多種多様のユーザー様に興味がもたれる異物などについて、ヒヤリングを行ってみますと、繊維屑や金属屑が上位にあげられます。 以前にも取り上げましたが、繊維屑は気流に乗って飛散する異物ですから、人が歩行するだけの微風であっても、風の流れ(気流)が発生すれば、簡単に飛散し拡散します。動画でも確認されますが繊維屑は人が歩く方向に向かって後を追うように舞い上がるのです。この様に気流次第で繊維屑の行く先は決まるということになります。
廊下や階段などで見られる丸まった綿ホコリ(繊維屑)は、必然的に集合した繊維屑の蓄積異物と推測されます。 また、実際にほうきを使った床掃除でどの程度、異物が飛散するかという実験(RACCARによる落下塵測定)では、 30μm程度までの大きさの異物が60cm程度の高さまで飛散することが確認されました。冒頭にも申し上げましたが、 床からの異物の飛散というのは、清掃(掃除)のやり方次第で逆に商品に異物付着させてしまい、背反を与えることも懸念されます。 それも異物不良撲滅の為の清掃(掃除)が異物不良の引き金となりうる可能性を秘めているわけですから困ったものです。 弊社の実験結果を単に鵜呑みにするのではなく、各社各製造工程で検証する必要があります。それは、蓄積された異物の成分や大きさ、 気流など様々な要因が絡むからです。面倒でも清掃(掃除)前後で異物の飛散変化量を高さやエリア(面積)方向に念入りに調査し、 現状の清掃(掃除)における影響を把握したうえで、清掃(掃除)のやり方が正しいのかどうかを判断することが必要であると考えております。 これらの情報を基に以下に掲げるいくつかのポイントに進展するものと思われます。 ・道具の見直し ・やり方見直し ・仕掛り品の保管高さの見直し ・工程内への異物持込みルートの遮断 最適な清掃方法を検討するのに必要な情報を得るには、様々な方法がありますが、ここでは、その一つ、RACCARの使用法を紹介させて頂きます。
RACCARを使った、清掃(掃除)のやり方・清掃(掃除)道具の選定方法
�@ RACCARを準備 　　↓ �A ウエハ(RACCAR専用)を高さ方向(階段状)に設置(10cm単位で1mまで)　 　　↓ �B 床掃除を行う 　　↓ �C 5分放置 　　↓ �D RACCARにて沈降、付着された異物の定量化 　　↓ �E 異物不良の原因となる異物がどの高さまで確認されるのかをウエハから調査 　　↓ �F 改善案の抽出〜改善効果の検証	ＲＡＣＣＡＲ Ｌ３ＳＱでウエハ上のゴミを確認
砂や金属粉は重い異物ですから、繊維屑とは異なる結果となると思われます。 高さ方向での異物調査は、成分分離においても有効な結果に導かれるかもしれません。
最後に
今回はＲＡＣＣＡＲでの調査を紹介しましたが、ツール選定などは今後紹介していきます。

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