| 2017.02.20更新 |
| 異物対策のための異物調査方法 | |||
| 異物対策においては日常の変化を早い段階で異常と判断し、素早い対策を講じることが重要です。そのために、異物の性質・量・発塵源などの情報を把握するために調査することが欠かせません。今回は手軽に実施できる異物調査方法とシーズシーの製品の活用法をご紹介します。 |
 |
||
| ■１） 掃除から始める | |||
| こんぜん-いったい【渾然一体】 調べてみますと、『いくつかのものが溶け合って区別がつかないさま』とあります。正確な情報を得るために、発生した異物（情報）が普段から蓄積していた異物と『渾然一体』になることを避けなければなりません。簡単に言うと、掃除することです。掃除することで元々蓄積されていた異物がなくなり、新しく落下してきた異物が観察しやすくなります。このように定期的に製造環境をリセットすれば、異物の発生タイミングや蓄積などのメカニズムを調査することができます。 a.どの様な動作（作業）で、 b.どの様な材料（物質）が、 c.どの様に落下（蓄積）する。 これらa、b、cの情報を把握できたら、効果的な異物対策が見つかるでしょう。 尚、掃除の際に、気を付けないといけないのは掃除用具（ワイパーなど）からの異物再付着です。ワイパーから脱落した繊維くずや拭取った異物などが掃除場所に再付着するようなことになれば、『渾然一体』となり、異物調査そのものができなくなってしまいます。よくあるのはワイパー掛けをしている間に、使用面（汚い面）と未使用面（キレイな面）の区別がなくなり交差汚染が起こるケースでしょう。そのようなことが起こらないように、工夫や道具の選定が必要です。 |
|||
また、異物調査するには、クリーンルームライトを使用すれば情報が得られやすくなります。掃除確認、掃除用具選定にも有効です。
|
|||
| ■２） 機器による数値管理 | |||
| 前述した通りの環境リセットで調査することが有効ですが、観察するには感覚的判断のもととなり、人のバラツキや見落としが生じる可能性があります。感覚的なものから、定量数値化することで信頼性は飛躍期にアップします。 この活動の中で異物発生源にある程度目途がたち、特別監視ポイントの設定がされれば、次は日常管理や改善効果の検証といった正確性、再現性を追求した異物対策活動へとランクアップされていきます。 |
|||
作業机や製造工程（設備内）に蓄積される異物は時間軸に関係する落下塵ですから、
粗大粒子カウンター「RACCAR」による数値管理をお勧めします。  特徴として、サイズ別の異物調査ができるので、特定場所での異物の大きさの傾向が判り、異物の正体と発塵源が特定しやすくなります。逆に満遍なく幅広い大きさの異物が検出されるということは、異物の発生源が多様であるということにもなります。ポイントは定量化された数値の意味するところをどのように理解し対策改善案へ展開するかという考え方に導くかということになります。 折角、得られた貴重なデータも、頭の中で『渾然一体』とならぬように丁寧に理解をしながら交通整理を行うことも大切ですね。 見える化、数値化を軸にして相対的且つ理論的にまとめるにあたり、i-luck(アイラック)やRACCARは非常に良い仕事をしてくれるはずです。 追記になりますが、異物の蓄積場所が特定されたら、黒色の塩ビ板を敷いて横からポラリオンライトで確認すると、非常に異物が確認し易いです。是非お試しください。 |
  クリーンルームライトを使用すれ ば、RACCAR専用のサンプリング板 （シリコンウエハ）上の異物も確認 できます。（写真はＬ３ＳＱで照ら したウエハです。） |
||
| ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ | |||
| 関連商品のご紹介 | |||
|
 |
|
| メルマガ会員のトップページへ戻る | |
お問い合わhttps://www.csc-biz.com/contact/@csc-biz.com?Subject=会員ページお問い合わせ">info@csc-biz.com 電話 ０７８−２５２−７２０１ FAX ０７８−２５２−７２１０ |
 |