2017.03.21更新

床掃除による埃の舞い上がりの実験レポート

今回はＲＡＣＣＡＲを使って、床掃除による舞い上がりを調査します。モップ（ＬＴＫワイパー）で拭取る場合と掃除機で清掃する場合、それぞれどれぐらいの高さまで埃を舞い上がらせるのか調査していきます。

■実験方法

１）左の画像の通りに、塩ビシートと測定用のタワーを 　　設置します ２）タワー にＲＡＣＣＡＲ専用のサンプリング板（シリコン 　　ウエハ）を設置します。 床から高さ５０ｃｍ〜１７０ｃｍの間に２０ｃｍの間隔で 設置します。 合計７枚です。 ３）ＬＴＫワイパーと６０ｃｍ幅モップで塩ビシート上を一周掃除します。 ４）掃除が終わったら、埃を落ち着かせるために、部屋 　　から出て、５分間放置します。 ５）その後、ウエハを回収し、ＲＡＣＣＡＲで測定します。   ６）掃除機の場合も同じように 　　実験します。

■実験結果

ウエハ上の３０μｍ以上の埃の数（個）

考察 「初期放置」とは、モップ掃除前のデータです。掃除していない時の部屋の状況を把握する為にとります。実験の結果、掃除作業が明らかに埃を舞い上がらせることが判りました。モップの場合は、掃除機と比べ、舞い上がった埃の数も高さも比較的に低い結果となりました。モップによる舞い上がりを高さ別で見ると、９０ｃｍ〜１７０ｃｍの埃の数にはあまり差がないようですが、７０ｃｍはかなり著しい数字です。それに対し、掃除機の掃除も７０ｃｍがピークで、その後、高くなるにつれて埃の数が徐々に低下していきます。掃除作業による埃の舞い上がりはある程度の高さまで大きな影響を及ぼすことが判ります。一方、高さ１５０ｃｍ以上になると、どのような掃除でも影響が少ないようです。（今回の実験では、５分間しか放置していないので、長時間放置すれば、結果が違ってくるかもしれません。） それにしても、今回の実験で表示された埃の数は、「そもそも気中に浮遊していたが、落ちてきた」又は「いったん舞い上がって落ちてきた」ものです。つまり、埃が実際に舞い上がった高さはウエハの高さ以上となります。しかも、ウエハは、上から落ちてきた埃しか拾えません。舞い上がってきた埃が静電気などでワークの横又は下に付着することも考えられるので、「ワークを高さ１５０ｃｍ以上に置けば大丈夫だ」なんて油断できません。 そのため、埃を避けたいものを高い所に置くだけではなく、掃除作業（特に、掃除機での掃除）が埃を舞い上がらせるという意識を持って、掃除の時間を調整したり、カバーをつけたりすれば良いかと思います。 改善一例：保管棚や台車にカバーを付ける 多目的で使用可能な クリーンルーム用塩ビシート （帯電防止仕様） 尚、今回の実験は単なる一例であり、各現場には拭取るスピードや空気清浄度などのような条件がまた違ってくるので、それぞれ検証する必要があります。

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