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会員トップページ > 新事例INDEX > 新事例29

2018.04.16更新
清掃用具別の塵埃舞上がりについて
クリーンルームでの清掃用具で、どれが一番効果が高いのか・・・。会員様よりよくいただく疑問の一つでもあります。どの清掃用具も場所や対象物によって、得手不得手がありますが今回は、清掃用具を用いて清掃した場合の発塵(舞上がり)が、どれくらいあるのかを調査致しました。

【実験目的】
クリーンルーム内で清掃用具を用いて作業を行った場合、どの程度の高さまで塵埃が舞上がるのか、クリーンルーム清掃に用いられる代表的な清掃用具別に比較実験を行い、その効果を検証する。

【実験方法】
1)床から各高さ、700/300/1500(mm)の場所にサンプル採取板
  (シリコンウエハ)を設置する。
2)塵埃に見立てた「石松子」※1 を床に均一にばら撒き、しばらく放置する。
3)対象清掃用具を用いて、一定の動作※2で清掃を行う。
4)清掃後、サンプル採取板(シリコンウエハ)を回収し、RACCAR(ラッカー)
  にて採取した「石松子」を計測する。
5)各清掃用具を2〜4まで繰り返し実験を行う。

◆対象清掃用具
・粘着ローラー 型式:CSR−300W
・クリーンルーム用掃除機
・ワイパー 型式:LTK1666

※1 「石松子」とは、保湿性がなく粒形が30μmと安定しているため、一般的に除塵実験では、
   「花粉」に見立てて使用されています。
※2 メトロノーム「80」のテンポでクリーンルームの手前から奥までの2往復

「石松子」の500倍拡大写真

床に撒かれた状態の「石松子」
実験結果
床の高さによって清掃用具別の差異は、あまりありませんでしたが、除塵効果が高い清掃用具が舞上がりも少ないということがわかりました。清掃用具別の結果は下記の通りです。
◆粘着ローラー
型式:CSR−300W
微粘着の物を使用しましたが、床面と接着する際スムーズに動かすことが出来ませんでした。一度のローラー掛けで「石松子」が全面に付着し、フィルムを捲る頻度が高くなり、異物が多い場合は使用が困難かと思われます。

◆クリーンルーム用掃除機
※肩掛け仕様
清掃箇所が、くっきりとわかるほど除塵ができ舞上がりがも少ない結果でした。
※本体部が、床を引きずるタイプの掃除機に関しては更に別の要因で塵埃の舞上がりが生じる可能性があります。

◆ワイパー
型式:LTK1666
掃除をしやすいようにエンボス仕様のワイパーを選定しましたが、シーズシーで推奨している【ワイパーは必ず一方向で拭き続ける】という動作ではなかったこともあり、除塵結果は得られませんでした。舞上がりは多くありませんでしたが扱いによっては塵埃の舞上がりが懸念されるため、やはり清掃時の動きには留意が必要です。
考察
今回の実験に関しては、清掃用具別による塵埃の舞上がりと除塵能力の検証を兼ねているため同じ動作にて実験を行いました。粘着ローラーや掃除機は往復動作が除塵に関して効果的であるのに対し、モップタイプは過去の評価実験と同様に戻り動作による捕集塵埃に脱落が生じることが確認されました。また、他の2実験と条件を併せるために、ドライ仕様での実施となったことで実際の使用シーンと比較した場合、悪条件での評価実験となっております。実際の現場での清掃作業は、人の動作や周囲環境の影響を受けることが考えられ、舞上がりに関しては、気流による影響を多大に受けるため、この実験結果が全ての清掃作業に共通であるとは言えません。しかし、舞上がりを意識して清掃方法を改めて見直すことが必要かと考えます。
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