| 2018.08.06更新 |
| クリーン環境におけるイオナイザーの効果について① | |
| 歩留まり向上を進める上でクリーンルームの四原則である「塵埃を室内に持ち込まない」・「塵埃を速やかに排除する」・「塵埃の発生を抑える」・「塵埃を堆積させない」を確実に実施することは勿論ですが、それを踏まえて歩留90％以上の改善は実現できたとしても、不良を“ゼロ”にすることは出来ません。 目標に近づけるためには、静電気付着する異物について考える必要があります。 今回はイオナイザー選定の参考として、各タイプの検証実験を行いました。 【実験目的】イオナイザーのファンタイプとバータイプの特徴と効果の確認【使用機器】 ファンタイプイオナイザー ：SMC製／IZF21-QBYU バータイプイオナイザー ：VESEEL製／ACパルス式 C-60（圧縮エアー：供給時0.05MPa） チャージプレートモニター ：春日電機製／NK-7001P（20×38mm（ステンレス製）） 風速計 ：KANOMAX製 【環境】環境温度：23.9℃ 湿度：49％ （当社ラボルーム内クリーンルームにて）【実験方法】１） ファンタイプとバータイプのイオナイザーを下図(※１、※２)の通りに設置します。２） ファンタイプは風速MAXとボリューム「６」、バータイプは圧縮エアー有・無にて設置方向から直進方向へ10～50cm（10cm毎）、左右方向へも同間隔で風速と除電時間（1000Ⅴ→100Ⅴ）の測定を実施します。 |
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  ※1 ファンタイプイオナイザー測定図 |
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  ※2 バータイプイオナイザー測定図 |
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【実験結果】 |
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ファンタイプイオナイザーのイオン発生幅は10cm程度であったが、 結果表の通り幅30cm×直進方向50cmのエリアでは、ほぼ10秒以内で除電ができました。
ファンの風量が弱くなればイオンを遠くまで飛ばす能力も低下し、時間の経過と共にイオンも消える為、除電時間は長くなっていると考えられますが、30×50（cm）での小型ワークの除電作業では十分効果が得られることが判りました。
注意点として、ファンタイプは、イオナイザーの後方のエアーを使用しイオンを運んでいるため、フィルターを設置して清潔なエアーを使用する事が必要です。 バータイプのイオナイザーはイオン発生幅60cmで、圧縮エアーを供給せず除電した場合、除電範囲は幅50cm×直進方向10cm以内でした。 圧縮エアーを供給した場合は、幅50cm×直進方向50cmの全測定ポイントで５秒以内の除電効果が得られたので、特に短時間で除電したい場合に効果的です。 直進方向1000cmで測定した場合も、10秒前後で効果が得られましたので、大型ワークや広範囲の作業空間の除電にも最適です。 【考察】両データを比較してわかるように、風速が速くても除電時間がかかっていることもある為、発生されたイオンが適正な時間と適切な気流で運ばれていなければ除電効率が十分に得られません。 イオナイザー選定において、除電されたい対象のワーク、周囲の環境、気流などを十分考慮して適正なイオナイザーをご選定ください。 |
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