| 2018.08.20更新 |
| クリーン環境におけるイオナイザーの効果について② ～イオナイザー実験（ＦＦＵの気流を使用した除電効率）～ |
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| 前回の実験で、ファンタイプとバータイプのイオナイザー効果の検証実験を行いました。 実験結果から、発生されたイオンが適正な時間・適切な気流で運ばれていなければ除電効率が十分に得られないという結果に至りましたが、風速5m/s前後のFFUの気流を使用した場合はどうなるでしょう。 今回は、バータイプイオナイザーの効果的な除電方法について実験しました。 【実験目的】バータイプイオナイザーの効果的な使用方法の確認【使用機器】 バータイプイオナイザー ：VESEEL製／ACパルス式 C-60（圧縮エアー：供給時0.05MPa） FFU ：CSC製 （NSF-07BHF） チャージプレートモニター ：春日電機製／NK-7001P（20×38mm（ステンレス製）） 風速計 ：KANOMAX製 【環境】環境温度：23.9℃ 湿度：49％ （当社ラボルーム内クリーンルームにて）【実験方法】１） FFUの直下にバータイプイオナイザーを下図(※１)の通りに設置します。２） イオナイザーから1000mm離れた場所にて50×50cmのエリア（10cm毎のポイント）にて （１）圧縮エアーあり （２）ＦＦＵをＯＮ＋圧縮エアーなし （３）ＦＦＵをＯＮ＋圧縮エアーあり の条件にて除電時間（1000→100V）を測定 します。 |
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 ※1 バータイプイオナイザー測定図 |
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【実験結果】 |
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【考察】実験結果の表の通り、（１）圧縮エアーのみで測定した場合、除電時間は１０秒程度でした。イオナイザー設置箇所から手前方向のエリアでも１０秒以内の除電効果が得られたのは、前方にカーテンレールがあり、床面からの開口面が広かったため手前方向に流れる気流にイオンが乗って運ばれたからと考えられます。次に（２）ＦＦＵをＯＮ＋圧縮エアーなしで測定した場合、全測定ポイントで除電時間は１５秒以上という結果となりました。本実験をするにあたり、圧縮エアーなしでＦＦＵの気流のみを使用しても除電効果は得られると仮定していましたが、 （１）（２）の結果により、発生されたイオンにピンポイントで風を当てなければ短時間での除電効果は得られない事がわかります。また、（３）ＦＦＵをＯＮ＋圧縮エアーありで測定した場合、除電時間は５秒前後という結果となりました。 今回のまとめとして、バータイプイオナイザーでは実験（３）のように、発生させたイオンを圧縮エアーで拡散させ、ＦＦＵの気流に乗せる使用方法が短時間で広範囲を除電するのに一番効果的である事がわかりました。 除電をさせたい場所は作業工程毎に異なりますので、効果的に除電する方法は一つではありません。作業工程毎にイオナイザーを選定していただき、圧縮エアーの供給圧力も環境に見合った最適な除電方法を検討していただけたらと思います。 |
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