2019.12.12更新

クリーンルームあるある実験レポート　第8弾！！

その差圧管理、本当にそれで大丈夫？？ 今回は「差圧」をテーマに実験レポートをお届けします。 クリーンルームの差圧管理として【２０Ｐａ】に設定されているお客様をよく見かけます。当たり前のように設定されているその数値・・・。果たして、それほどまでに圧をかけないといけないのでしょうか？？ そこで今回は、クリーンルームの差圧は清浄度にどのような影響を与えるのか。をテーマに「差圧」を≪等圧≫と≪３段階の陽圧≫にし、それぞれパーティクルの推移を測定し、適正な差圧運用を検討するため、検証を行いました。 【実験目的】 パーティクル推移測定による差圧管理の適正値の検討 【実験方法】 部　屋　　　：弊社ラボルーム内クリーンルーム 測定ポイント：部屋に設置しているＦＦＵ４台から等距離の位置（高さ１m） １）クリーンルームの扉を開放し、前室の空気を送り込み一時的に汚染させる。 ２）０Ｐａ/１０Ｐａ/１５Ｐａ/２０Ｐａの４段階に差圧を設定し、１０分間の 　　推移を測定する。※風量(風速は約0.3ｍ／sec)は同じとする。 【測定環境】 温度：２３度 湿度：４４％ 【使用機器】 パーティクルカウンター　ＫＣ－３１ 【実験結果】 差圧による浄化速度に大きな差は見られなかった。 【考察】 今回の実験では風量が同じで、ゼロ以上の差圧を確保すれば浄化速度はあまり変わらないことから過剰に差圧を設定する必要がない事が確認されました。 通常、空気の流れで清浄度を維持する方法と乱流希釈と差圧で清浄度を維持する方法の２タイプがあります。今回の実験では、風速を０．３ｍ/ｓｅｃ程度に抑え、舞上りが無い状態で実験を行い、差圧は扉を開けて調整したことで塵埃の侵入はゼロと考えられます。また、実験したクリーンルームは完全に周囲の気密を確保した状態の為、ゼロでも差圧による影響をあまり受けていないことが考えられます。 この実験では風速を０．３ｍ/ｓｅｃに抑える事で、空気の流れで清浄を維持したことになり、一般環境で清浄度を維持するクリーンウォールと一緒の原理になります。 従いまして、今回の実験はゼロ差圧でもある程度の清浄度を得られると考えられます。 差圧で大事なことは １）隙間などから外気の侵入を防ぐ程度の差圧をかけること 　　※部屋の中に部屋（クリーンルーム）を作る場合は低くても可です。 ２）インターロックなどを使い一定差圧を維持する事 ３）差圧は日々管理しfan異常やフィルターの目詰まりを管理する事 差圧を過剰に上げると小さな隙間からもエアーが漏れてしまい、またロスした分を最終的にはＯＡ（外気）から多くとることになること空調負荷が上がり電気代が過大に膨らむことになります。 適正な差圧管理を目指しましょう。

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