JIS B 9920の清浄度評価方法

JIS B 9920の清浄度評価方法

項目	逐次サンプリング評価方法
１．評価対象空間	測定点付近の空間を対象とする(清浄度クラス4以上)
２．記載以外のクラス定義	原則としてない
３．クラスの表示方法	１m³の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の微粒子を10のべき乗で表したべき指数で表す
４．評価対象の清浄度クラス	清浄度クラス1～4
５．評価方法	逐次サンプリング評価を行い、逐次サンプリング評価線図の信頼係数95％以上の適合領域に入れば、測定点は清浄度クラスを満足すると判定する
６．測定点における清浄度クラスを満たす上限値	逐次サンプリング線図で適合領域に入った場合は平均的に、上限濃度の約60％以下になる
７．空間における評価	全測定点で5の条件が満たされていることが必要である
８．測定器	0.1μm以上：光散乱式粒子計数器 5μm以上：光学顕微鏡
９．評価のための対象粒子径数	1粒径以上で評価する
10．測定点の数	クリーンルーム全体空間を評価する場合は、最小6点原則として、面積3×3mに1点全測定点数は20～30点を目安とする