| 項目 |
逐次サンプリング評価方法 |
| １．評価対象空間 |
測定点付近の空間を対象とする(清浄度クラス4以上) |
| ２．記載以外のクラス定義 |
原則としてない |
| ３．クラスの表示方法 |
１m3の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の微粒子を10のべき乗で表したべき指数で表す |
| ４．評価対象の清浄度クラス |
清浄度クラス1〜4 |
| ５．評価方法 |
逐次サンプリング評価を行い、逐次サンプリング評価線図の信頼係数95％以上の適合領域に入れば、測定点は清浄度クラスを満足すると判定する |
| ６．測定点における清浄度クラスを満たす上限値 |
逐次サンプリング線図で適合領域に入った場合は平均的に、上限濃度の約60％以下になる |
| ７．空間における評価 |
全測定点で5の条件が満たされていることが必要である |
| ８．測定器 |
0.1μm以上 ： 光散乱式粒子計数器
5μm以上 ： 光学顕微鏡 |
| ９．評価のための対象粒子径数 |
1粒径以上で評価する |
| 10．測定点の数 |
クリーンルーム全体空間を評価する場合は、最小6点
原則として、面積3×3mに1点
全測定点数は20〜30点を目安とする |