FED-STD-209Eクラス分類
クラス
クラス上限値
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
単位体積 単位体積
単位体積
単位体積
単位体積
メートル法 英国単位
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3
(m3)
(ft3
(m3)
(ft3
(m3)
(ft3
M1
-
350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - -
M1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - -
M2.
-
3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - -
M2.5 10 12,400 350.0 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - -
M3 - 35,000 991.0 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - -
M3.5 100
-
- 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - -
M4 - - - 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 - -
M4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00
M5 - - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5
M5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0
M6 - - -
-
- - - 1,000,000 28,300 6,180 175
M6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700
M7 - - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750
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