ＩＳＯクラス分類表
| 清浄度クラス |
指定粒径以上の許容粒子濃度
（個/ｍ３）
|
| ０．１μｍ |
０．２μｍ |
０．３μｍ |
０．５μｍ |
１μｍ |
５μｍ |
| ＩＳＯクラス１ |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
| ＩＳＯクラス２ |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
| ＩＳＯクラス３ |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
| ＩＳＯクラス４ |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
- |
| ＩＳＯクラス５ |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
| ＩＳＯクラス６ |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
| ＩＳＯクラス７ |
- |
- |
- |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
| ＩＳＯクラス８ |
- |
- |
- |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
| ＩＳＯクラス９ |
- |
- |
- |
- |
8,320,000 |
293,000 |
|