2017.03.27更新

効果的な排気について
クリーンルームは、異物がないように設計されたものですが、残念ながら、工程によっては発塵せざるを得ない生産活動が存在します。例えば、研磨やはんだ付けです。またそれとは別に有機溶剤を扱う工程も要注意です。ルーム内での発塵はできるだけ抑制することが理想的ですが、完全に停止できない場合は、発生した異物を排除するしかありません。気中異物を排除するには、「局所排気」が有効です。発生した異物がルーム内に拡散されないように発塵源をブースなどで囲い、集塵・排気装置を設置することが一般的です。 それにしても、排気を実施するには、いくつかの注意点があります。
■排気設計に関する注意点
１）ルーム内に拡散しない排気を設計すること まず、発塵箇所を特定し、異物が発塵源または排気先からルーム内に拡散させないように心掛けて排気設計を行うべきです。例えば、排気口にフィルターが装備してある排気装置を設置すれば良いでしょう。 ２）排気を実施しても必要な陽圧は保持すること 排気は、その分の空気を外に逃がすためクリーンルーム内の陽圧は必然的に低下します。そのため、必要な陽圧が保持できる程度に排気量を定めることが大事です。 ３）フードの設置や設備配置の再検討などで効率的な排気を実施すること 排気した分は給気をしなければなりません。外気を空調して給気する段階もエネルギーを使います。そのため効率的な排気ができると、排気のみならず給気に伴うエネルギーコストの削減にもつながります。 ４）フィルター等でろ過してクリーンルーム内に戻せないかと検討すること クリーンルームの外に空気を追い出す場合、排気の他に、給気の空調にもコストがかかるので、汚染空気をフィルターでろ過してルーム内を循環した方が比較的に安く済む傾向があります。排気を実施する前に、「汚染空気を完全に外に追い出す場合」と「汚染空気を浄化して循環させる場合」のランニングコストを照らし合わせて検討すれば良いでしょう。
■効果的な排気
では、どのようにして効率的に排気を実施するかですが、例えば有機溶剤等に関しては溶剤の特性（気体比重）を十分に把握することが必要です。大気より重いか軽いか、仮に空気より重ければ自然に沈む訳ですから下から引けばより効率的に捕集し排気を抑えられます。反対に軽ければ上昇浮遊する訳ですから上から捕集することにより効率的な排気が可能となります。 有機溶剤の場合、忘れてならないのが排気口に到達した際の濃度です。この濃度が薄ければ周囲の空気と混合して排気されていることになります。反対に濃ければ効率的に排気されていることになります。重要なのは周囲に拡散させずに発生から回収までを最短で行うことです。そのためには飛散を防止するフードをどのように取付けてクリーンルーム内の空気を最小限の排気で抑えることができるのか検討することが必要です。 更に、クリーンルーム内には必ず空調のリターン口（ルーム内からの空気の出口）があります。リターン口を有効的に活用すれば、局所排気の排気口のフィルターの必要もなくなります。例えば、リターン口がルーム側面にある場合は発塵作業をリターン口側に集約すれば良いです。更にフード等で覆えば拡散の防止にもなります。 クリーンルーム内の装置配置を考える上で、清浄度をより必要とする装置はフィルター吹き出し口側に置き、発塵の多い装置をリターン口側に配置すると無駄な排気を低減、あるいは異物飛散を抑制できます。
そのように、排気・空気循環を設計するには、気流を把握することが必要となります。シーズシーではこのような発生から排気までの気流の流れを見る装置として気流可視化装置「ミストストリーム」を推奨しています。ミストストリームで排気の必要が無い空気を排気していないか、排気流の妨げになる障害物はないかなどの確認が可能になります。
■ＣＳ−ＳＵＴＥの紹介
この商品は、３立米／分タイプのＦＦＵ「ＮＳＦ−０３Ａ」をベースにしており、処理風量は５０／６０Ｈｚで２．５／３．０立米／分です。直径７５ｍｍの丸フランジ口から吸引し、ＨＥＰＡフィルターを通して清浄化空気として吹出します。対象となるのが粒子状の汚染物質であれば、わざわざクリーンルーム外へ排気の必要がなく、室内へ清浄化空気として環気します。 外観写真１　プラ段で フードを作成しました。 外観写真２ ７５φフランジ付 早速ＣＳ−ＳＵＴＥの効果を 試してみました。
【ＣＳ−ＳＵＴＥの効果】 ＮＳＦ−０３Ａにプラ段で簡単なフード（Ｗ４５０×Ｄ４００×Ｈ２５０ｍｍ）を作り接続しました。開口部での風速は平均で約０．１ｍ／秒程度。ここに気流可視化装置ミストストリームを使って霧化した水滴を発生させます。フードから１０数ｃｍ離したところからでも吸い込み外部に漏らしません。次にはんだフュームを吸わせてみました。はんだフュームは少し離したところで も０．３μｍで１００万個を超えるパーティクルが発生します。しかし、３分間連続で吸わせてみて、通過したのは０．５μｍ以上の粒子ではわずかに１３個／分でした。 ＳＵＴＥ通過後のパーティクルを カウンターで測定。 はんだフュームを吸い込むＳＵＴＥ
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