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クリーンルームの気流を見る「ミストストリーム」~気流可視化装置 トップページ

 
 

クリーンルームの気流調査に

ミストストリームは、超音波霧化装置とファンフィルターユニットを内蔵し、クリーンルーム内で使用可能な微細なトレーサー・ミストを発生させ、気流を可視化する装置です。

クリーン化において、気流をコントロールすることは非常に重要です。しかし、微粒子同様、気流そのものも目には見えません。このミストストリームは微細化した水滴をトレーサーとして気中に散布することで、気流を可視化することができます。また、フィルターを内蔵し、純水に対応しておりますので、クリーンルームを汚すことなく使用が可能です。*1

陽圧・陰圧がとれているのか、ワーク近辺の微妙な気流の回り込み、クリーンルーム内での気流滞留域の検出、熱による上昇気流の確認などさまざまな目的に使用可能です。
*1 HEPAフィルター搭載ではありません。ハイクラス(ISOクラス5以上)クリーンルームでのご使用は推奨致しませんので予めご了承ください。また、クリーンルーム内の使用は純水の使用をお勧めします。
【ミストストリームの特徴】
  • 振動子の数を従来の2個から6個に増加
  • ユーザー様で消耗品の振動子を交換可能
  • ファンスピード可変機能付
  • 小型・軽量化
  • 純水対応
  • 風量絞りの付替により、さらにゆっくりとしたミストを発生
  • オプションでバッテリーによる駆動対応予定


垂直・水平気流式
クリーンベンチの気流調査

ミストストリームの使用例

陽圧・陰圧の確認

 ※使用例は旧型ミストストリームによる画像を使用しています。
室圧の違う2部屋間でミストストリームを作動させ、わずかに隙間をあけたとき、また、開口部がある場合は、開口部からのミストの流れによって、陽圧・陰圧が確保できているかどうか、を確認することができます。

※ドラフトチャンバー(陰圧)や循環式クリーンベンチなど装置の気流も確認することができます。
開口のある加圧された室内で陽圧が確保できているかの確認です。ポラリオンライトとの併用ではっきり分かるようになります。

気流滞留域やゴミだまりの調査

クリーンベンチ内に障害物があったときなど、気流滞留域がどのように発生し、そこでゴミだまりがどのようにできるのか、を可視化確認することができます。
クリーンベンチ内に障害物を置いて、気流滞留域の発生を確認してみます。障害物を取り除くと滞留域はすっかり消滅してしまいます。(上の動画で紹介しています)

気流速度による変化

気流速度はどのクリーン化機器でも一定でよいという訳ではありません。例えば、粗大粒子を追い出すのは、どのくらいの気流速度がよいのか?クリーンブースやベンチの中も全く障害物がないわけではありません。作業を行う場合はなおのことです。その場合、周辺で気流はどのように動くのか?気流速度を調整することができる場合には、適切な速度はどのくらいなのか?ミストストリームで確認することができます。
  

熱による上昇気流

熱による上昇気流があると、ゴミも周囲で舞い上がり、室内のゴミ発生器となってしまうケースがあります。熱による上昇気流の可視化ができます。
  

クリーン化設備の効果検証

ミストストリームを使用してCSバルーンの層流性を見える化する実験はこちら 

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