| 2019.08.05更新 |
| クリーンルームあるある実験レポート 第5弾！！ | ||||
| 「クリーンルーム用掃除機使用における清浄度変化について（バルーンあり）」実験レポート クリーンルームあるある実験レポート第２弾 で掃除機を使用する前後での清浄度変化についてレポートしましたが、今回は吹出口にＣＳバルーンを取り付けて疑似層流を作り出し前回と同条件にて検証を行いました。 【実験目的】（疑似）層流式クリーンルームにてクリーンルーム用掃除機を使用して掃除行った際の清浄度変化について調査する。【実験環境】クリーンルームサイズ： 床面積２８㎡ 高さ２.１ｍ温度 ２４。２℃ 湿度 ５４．０％ 総風量 約２８ｍ3/ｍｉｎ（吹き出し面からの風速は約０．２ｍ/ｓｅｃにて） ※吹き出し口にＣＳバルーンを取り付けた状態
【使用機器】・クリーンルーム用掃除機： ＣＶ－Ｇ１２ＣＴ 日立産機システム製・パーティクルカウンター（微粒子）： ＫＣ－３１ リオン製 ・パーティクルカウンター（粗大粒子）： ＫＣ－２０Ａ リオン製 |
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【実験結果】 |
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結果は下記表の通り、掃除機使用前はＩＳＯ５（クラス１００）で安定していた清浄度が、掃除機使用後すぐに悪くなることが確認されました。掃除機停機後の清浄度変化も確認致しましたが、掃除機停機３分後には微粒子・粗大粒子とも掃除機使用前とほぼ同様の数値に戻り、その後はＩＳＯ５（クラス１００）で安定していました。
微粒子用パーティクルカウンターによる測定結果  粗大粒子用パーティクルカウンターによる測定結果 
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【考察】CSバルーンを取り付けなかったクリーンルームでは、掃除機停機 １０分後でも微粒子の数値は清掃前に戻りませんでした。一方、CSバルーンを取り付けたクリーンルームでは、掃除機停機３分後には使用前の数値に戻りました。今回の実験結果からクリーンルーム内で掃除機を使用すると、異物の舞い上がりが起こり乱流が生じますが、ＣＳバルーンを取り付けることで、吹き出し面積を増やし、風速を抑えることにより層流性が高まり乱流が抑制されることがわかりました。 一般的な吹き出し口は0.5m/sec以上の吹き出し風速を要するために、早い風速の周囲では渦を巻くように上昇気流（乱流）が生じています。浮遊塵埃もそれに追随するためになかなかリターン口までいかない傾向にあります。 そこで、ＣＳバルーンを取り付けることで清掃後、生産開始時間を早め生産効率をあげることが可能です。また、製品への異物付着なども軽減できると考えられます。 今後は、掃除機以外の清掃ツールを使用した清掃方法や人数の違いによる清浄度の変化も実験していければと思います。 |
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