| シーズシーでは、サンプル板上に落下してきた30μm以上のダストの大きさを分級し、その数をカウントする測定器「粗大粒子カウンターRACCAR（ラッカー）」を販売しております。 当ページは、RACCARの旧型である「落下塵カウンター」の実験動画を公開しています。動画に登場している落下塵カウンターの分級が3段階（30μm以上、66μm以上、96μm以上）ですが、RACCARは5段階（30μm以上,50μm以上,100μm以上,150μm以上,200μm以上 ）分級できます。  |
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【重力の影響で付着するゴミ・ホコリ】 |
粗大粒子による落下塵の大多数は重力塵着が原因です。その影響を確認するため、垂直に置いて付着数を比較します。３０μｍ～１００μｍ程度の粗大粒子は気流滞留域でゆっくりと落下してきます。ここでワークを垂直に置けば、重力は働かないのでゴミ・ホコリはほとんど付着しないはずです。（それでも付着するゴミ・ホコリは静電気による付着が考えられます。） |
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【静電気による付着】 |
ワークを帯電させて、静電気付着による |
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【静電気による付着その２
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静電気付着でゴミは増えるのか？ |
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【イオナイザーの効果】 |
イオナイザーで付着ゴミは |
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【様々な動作による
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以前はパーティクルカウンターやモニタを
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【触って付着するゴミの確認】 |
落下塵カウンターは触って付着する粗大粒子汚れもカウントすることができます。 汚い手で触ると汚れます。当たり前のことですが、では実際どのくらい数のゴミ・ホコリが付着するのでしょうか？素手や手袋の場合を調べてみましょう。 |
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【周囲環境による落下塵数の比較】 |
屋内・屋外・容器内・クリーンベンチ内での落下してきたダスト（粗大粒子）の数をカウントします。落下塵は周囲環境により、数も変わります。今回は落下塵を集めるシリコンウエハを室内・屋外・容器の中・クリーンベンチ内にそれぞれ３０分暴露し、落下塵数を比較しました。 |
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【時間の経過による落下塵数の変化】 |
落下塵が増える条件は気中の濃度だけではありません。暴露時間が大きな要因を占めます。そのあたりを実験で確認しましょう。同じ環境であれば、落下塵は滞留時間が長ければ長いほど多く付着します。清掃の行きとどいた普段は無人の会議室内において１５分ごとのデータを取ってみましょう。 |
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【落下塵カウンター用シリコンウエハのケース(シッパー)清掃】 |
落下塵カウンターはサンプル収集がきわめて容易で簡単にデータが取れます。その理由は専用ケースで持ち運べること。もちろん、ゴミの付着はほとんどありません。落下塵カウンターではサンプル収集板として、シリコンウエハを使用します。また、シリコンウエハの持ち運びには専用ケース （シッパー）を使用します。カウンター自身持ち運びは容易ではありませんが、シリコンウエハを専用ケースに入れて持ち運べば、サンプル収集は場所を選ばず容易に可能です。 |
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【HEPAフィルターとプレフィルター
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ベンチのHEPAフィルターをプレフィルターに入れ替えて落下塵を比較します。この実験はクリーンベンチの性能を確認するためのものです。３０μm以上の落下塵付着を防ぐために、その１/１００の大きさの粒子（０．３μm）をカットするHEPAフィルターは必要なのでしょうか？使用するプレフィルターでは５μm以上の粒子数は周囲環境とほとんど変わりません。
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