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ＣＳ ＨＥＰＡ フィルターについて 厳しいコストダウンの時代、ユーザー自身がフィルターを管理し、選定し、安いコストで購入することが求められています。 ※フィルターの仕様が同等であれば、他メーカーのものであってもほとんどの場合、リプレイスが可能です。（特殊仕様除く） ここではフィルターの仕様を確認し、クリーンルームユーザーの皆様がより安くより確かにフィルター購入できるお手伝いをいたします。 ★★★ すでに施工されたクリーンルームのフィルターメンテナンスの場合、「完成図書」に必ずフィルターの型式、仕様が記入されています。フィルター交換の際これをご確認の上、仕様一覧から該当するフィルターをお選びください。 |
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| １ | 捕 集 効 率 の 確 認 |
ＨＥＰＡフィルターの選定にはまず「捕集効率」を確認します。 捕集効率：標準型のＨＥＰＡフィルターでは０．３μｍ粒子に対して９９．９７％以上の捕集効率を保証しています。 ☆１万個の粒子に対して３個以下にしますという数値です。通常の事務所などでは、１００〜３００万個ぐらいのパーティクルが存在しています。 ここにＨＥＰＡフィルターを通せば一気に３００〜９００個ぐらいになるということです。 ところが、クリーン機器などを設置したことがある方なら経験があるかもしれませんが、実際はもうちょっときれいになるようです。９９．９７％は最低の保証値で実力はもう少し上であるためだと思います。 また、クリーンルームの清浄度の規格の方は０．５μｍ粒子の数で設計されている場合が多いので、フィルターの効率との関係は換算表などで比較してください。 ☆実はこんなに多くの粒子を捕獲しクリーンな空気を作り出しているのは見た目には和紙のようにぺらぺらなガラスペーパー。これを構造的に単位面積あたりの通過風速や捕集効率を均一にするように組み立てられているのがＨＥＰＡフィルターなのです。例えば、６１０×６１０×１５０ｍｍのフィルターにはセパレーター（アルミや特殊紙でできたナミナミ）によってお互いに濾材同士が干渉することなく約８平米ものガラスペーパーが織り込まれています。 ☆シーズシーでは標準のＨＥＰＡのほかに捕集効率が９５％、９８％の準ＨＥＰＡフィルターをご用意しております。 |
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| ２ | 定 格 風 量 |
もうひとつＨＥＰＡフィルターの仕様で大切なのが定格風量。 定格風量：上記の捕集効率、カタログの初期圧力損失値を保証する時の処理風量のことです。 |
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| ★ 多 風 量 型 に つ い て |
☆クリーンルームの処理風量は清浄度に大きくかかわってきます。一般的に一定容積中の処理風量を増せば、清浄度はＵＰします。 ＨＥＰＡフィルターには標準型のほか濾材の組み方によっていくつかの種類があります。代表的な多風量型について説明します。 多風量型はサイズ的には標準型と同じですがピッチの小さなセパレーターを使って濾材面積を多く取り処理風量を増加させたものです。 ＝６１０×６１０×１５０ｍｍのフィルターの場合＝ 標準型の定格風量は１７立方メートル／分 多風量型は２８立方メートル／分 濾材面積は標準約８平米に対し多風量は約１３平米にもなります。 ☆クリーンルームの処理風量は清浄度に大きくかかわってきます。一般的に一定容積中の処理風量を増せば、清浄度はＵＰします。 |
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| そ の 他 の 型 |
そのほかにも… くさび型のセパレーターを使いさらに処理風量を増した「高風量型ＨＥＰＡ」や「セパレーターレス、ミニプリーツ型」と呼ばれる薄型フィルターなどがあります。 |
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| 圧 力 損 失 と 圧 損 値 |
圧力損失：フィルターの上流側と下流側の圧力差のことです。 ☆エアフィルターをある処理風量 で使用したときのフィルター入口の圧力（上流側静圧）とフィルター出口の圧力（下流側静圧）の差を「圧力損失」といい、単位はＰa（パスカル）で表します。 従来使用していた単位（ｍｍＨ２Ｏ）とＰａの関係は １ｍｍＨ２Ｏ＝９．８Ｐａ となります。 ☆フィルターには各フィルターごとに最終圧損値があり、それを超えてのご使用は性能の保証範囲外となりますのでフィルターの圧力損失を測定する差圧計などで管理を行い、適切なフィルター交換を実施する必要があります。 |
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| 実際クリーンルームユーザーの皆様はどんな管理をされているのでしょうか？ ※メルマガ会員の皆様にフィルターの管理方法についてアンケートをしてみました。 |
| 【ユーザーＡ様 アッセンブリ工程 クリーンブース／クラス１００００】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Ｑ：クリーンブースのフィルターの管理はどうされていますか？ Ａ：導入したばかりで特に決まっていないです。ブースについている差圧 計の振れ方を見て管理すると聞いていますが…。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 【ユーザーＢ様 半導体デバイス クリーンルーム／クラス１０００】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Ｑ：クリーンルームのフィルターの管理はどうされていますか？ Ａ：今までは担当のものにまかせていましたが、管理方法・コストを工場 の誰が見ても納得できる方法に変えていこうと模索しているところで す。例えば、ＨＥＰＡフィルターの場合は圧力損失の値を交換後３年 目以降に測り、２倍になった年に予算を組むなどを考えています。 |
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| 仕様型式一覧： ≪奥行 ７５≫ ／ ≪奥行 １５０≫ ／ ≪奥行 ２９０≫ |
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| 仕様型式一覧： ≪奥行 １５０≫ ／ ≪奥行 ２９０≫ |
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