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CS HEPAフィルター

 CS HEPA フィルターについて
厳しいコストダウンの時代、ユーザー自身がフィルターを管理し、選定し、安いコストで購入することが求められています。
※フィルターの仕様が同等であれば、他メーカーのものであってもほとんどの場合、リプレイスが可能です。(特殊仕様除く)
ここではフィルターの仕様を確認し、クリーンルームユーザーの皆様がより安くより確かにフィルター購入できるお手伝いをいたします。

★★★ すでに施工されたクリーンルームのフィルターメンテナンスの場合、「完成図書」に必ずフィルターの型式、仕様が記入されています。フィルター交換の際これをご確認の上、仕様一覧から該当するフィルターをお選びください
1)捕集効率の確認

HEPAフィルターの選定にはまず「捕集効率」を確認します。
捕集効率:標準型のHEPAフィルターでは0.3μm粒子に対して99.97%以上の捕集効率を保証しています。

☆1万個の粒子に対して3個以下にしますという数値です。通常の事務所などでは、100〜300万個ぐらいのパーティクルが存在しています。

ここにHEPAフィルターを通せば一気に300〜900個ぐらいになるということです。
ところが、クリーン機器などを設置したことがある方なら経験があるかもしれませんが、実際はもうちょっときれいになるようです。99.97%は最低の保証値で実力はもう少し上であるためだと思います。
また、クリーンルームの清浄度の規格の方は0.5μm粒子の数で設計されている場合が多いので、フィルターの効率との関係は換算表などで比較してください。

☆実はこんなに多くの粒子を捕獲しクリーンな空気を作り出しているのは見た目には和紙のようにぺらぺらなガラスペーパー。これを構造的に単位面積あたりの通過風速や捕集効率を均一にするように組み立てられているのがHEPAフィルターなのです。例えば、610×610×150mmのフィルターにはセパレーター(アルミや特殊紙でできたナミナミ)によってお互いに濾材同士が干渉することなく約8平米ものガラスペーパーが織り込まれています。

☆シーズシーでは標準のHEPAのほかに捕集効率が95%、98%の準HEPAフィルターをご用意しております。

2)定格風量

もうひとつHEPAフィルターの仕様で大切なのが定格風量。
定格風量:上記の捕集効率、カタログの初期圧力損失値を保証する時の処理風量のことです。


※多風量型について
クリーンルームの処理風量は清浄度に大きくかかわってきます。一般的に一定容積中の処理風量を増せば、清浄度はUPします。

HEPAフィルターには標準型のほか濾材の組み方によっていくつかの種類があります。代表的な多風量型について説明します。

多風量型はサイズ的には標準型と同じですがピッチの小さなセパレーターを使って濾材面積を多く取り処理風量を増加させたものです。
=610×610×150mmのフィルターの場合=
 標準型の定格風量は17立方メートル/分
 多風量型は28立方メートル/分
 濾材面積は標準約8平米に対し多風量は約13平米にもなります。

☆クリーンルームの処理風量は清浄度に大きくかかわってきます。一般的に一定容積中の処理風量を増せば、清浄度はUPします。

※その他の型
そのほかにも…
くさび型のセパレーターを使いさらに処理風量を増した「高風量型HEPA」や「セパレーターレス、ミニプリーツ型」と呼ばれる薄型フィルターなどがあります。


圧力損失と圧損値

圧力損失:
フィルターの上流側と下流側の圧力差のことです。

☆エアフィルターをある処理風量 で使用したときのフィルター入口の圧力(上流側静圧)とフィルター出口の圧力(下流側静圧)の差を「圧力損失」といい、単位はPa(パスカル)で表します。
従来使用していた単位(mmH2O)とPaの関係は 1mmH2O=9.8Pa となります。

☆フィルターには各フィルターごとに最終圧損値があり、それを超えてのご使用は性能の保証範囲外となりますのでフィルターの圧力損失を測定する差圧計などで管理を行い、適切なフィルター交換を実施する必要があります。


実際クリーンルームユーザーの皆様はどんな管理をされているのでしょうか?
※メルマガ会員の皆様にフィルターの管理方法についてアンケートをしてみました。
【ユーザーA様 アッセンブリ工程 クリーンブース/クラス10000】
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Q:クリーンブースのフィルターの管理はどうされていますか?

A:導入したばかりで特に決まっていないです。ブースについている差圧
  計の振れ方を見て管理すると聞いていますが…。

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【ユーザーB様 半導体デバイス クリーンルーム/クラス1000】
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Q:クリーンルームのフィルターの管理はどうされていますか?

A:今までは担当のものにまかせていましたが、管理方法・コストを工場
  の誰が見ても納得できる方法に変えていこうと模索しているところで
  す。例えば、HEPAフィルターの場合は圧力損失の値を交換後3年
  目以降に測り、2倍になった年に予算を組むなどを考えています。

HEPAフィルター
仕様型式一覧: ≪奥行 75≫ / ≪奥行 150≫ / ≪奥行 290
準HEPAフィルター
仕様型式一覧: ≪奥行 150≫ / ≪奥行 290

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