クリーンルームのパーティクルを測定する装置といえば、パーティクルカウンターが一般的です。これは運営中のクリーンルームがクリーンルームの規格に対して、どのような状況なのかを判断するのに最も適しています。すなわち、一定量のエアを吸引しその中の微粒子数をカウントすることで清浄度クラスを判定するわけです。
ただし、多くのパーティクルカウンターが連続運転を得意としてはいません。理由はバッファするデータ容量、ポンプの性能など様々です。
ところで最近、各社からカウンターに対し、パーティクルモニタと呼ばれる商品が発売されるようになりました。カウンターは大きくセンサーとポンプに分けることができますが、モニタはセンサーのみを搭載して、ポンプは搭載しないものが多いようです。クリーンルームの壁や装置に搭載して、パーティクルの状態をモニタします。表示のみの目的のものもありますが、しきい値に対して信号を出すものなどもあります。価格的にはカウンターより安価になりますが、クリーンルームの規格との整合性が問題となります。 |
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| パーティクルカウンターで定点観測の例 |
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各社のパーティクルモニタをみると様々な方式が採用されています。センサー近くにヒータをセットして上昇気流を発生させるもの、ファンを使うもの、など様々です。ところで、クリーンルーム規格にはそれぞれＩＳＯ規格：パーティクル数／１立方ｍ、ＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９Ｄ：パーティクル数／立法フィートと、試料の量が定められています。これに対し、パーティクルモニタはいずれも一定量に対してのパーティクル量ではないため、表示される値は参考値扱いとなります。
この問題に対しシーズシー販売のパーティクルモニタは一定以上の圧力で引けば、流量が一定となる「定流量絞り」を備えています。この方式では別途真空源を必要とする一方、クリーンルーム規格はクリアすることができます。 |
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| 「定流量絞り」 |
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パーティクルカウンターでクリーンルームを管理する場合、一番適した方法は「定点観測」です。すなわち、測定する場所と時間を決めて、１時間ごと、１日など１定間隔で繰り返し測定する。それを表計算ソフトなどで分析する方法です。日常のクリーンルームの状態を把握することができるだけでなく、マナーを守るなど作業員の意識付けにも有効な方法です。
これに対し、シーズシー販売のパーティクルモニタは「常時監視」を得意としています。クリーンルームや装置などに設置し連続してパソコンにデータを送信します。連続データなので、パーティクルの変化が細かく読み取れることが特徴です。
また、作業者が入りにくい場所や測定者からの発塵が問題となる箇所での測定に威力を発揮します。 |
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| 装置組込み例 |
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パーティクルモニタの特徴のひとつはあるイベントとパーティクルの関係を把握するのに有効なことです。
クリーンルームの中では無負荷の状態では基本的にはパーティクルは減る一方のはずです。しかし、実際の運営中には特定のイベントによって発塵が起こります。それは、作業者が歩く、扉が開く、ある装置が起動する、排気を始める、シリンダが上下するなど・・・様々なことが考えられます。しかし、クリーンルームには元の清浄度に戻ろうとする回復力があるので、定量的にイベントの発塵を求めることはパーティクルカウンターでは難しいといえます。パーティクルモニタを使って、発塵のイベントを特定し、管理することでより清浄度を保持しやすくすることができます。 |
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| 無線LANタイプ |
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