| 2017.04.10更新 |
| クリーンブースの運用方法(前編) 〜気流について〜 | |||||
| クリーンブースには様々な仕様があります。アルミ製のもの、鋼板塗装品、ステンレス製のものなど材質的にもこれだけ種類があります。アルミ製と鋼板製に大きな違いはありませんが、アルミ製の場合は素材の都合上溝があるタイプが多いので、清掃のし難さがあります。一方、ステンレス製は溶剤や錆に強いので、多湿環境、例えば高温充填などの蒸気が生じる工程に適しています。 |
![]() 様々な種類のクリーンブース |
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| ■注意点 | |||||
| クリーンブース内に入る装置も工程により色々ですが、シーズシーで気を付けたほうが良いと思われる装置を2つ挙げてみます。 1.研磨系装置:研磨は削るという発塵動作のため、クリーンブース内に汚染が広がるケースがあるので、排気を推奨しています。詳しくは「新事例20 効果的な排気について」をご参照ください。 2.乾燥炉:クリーン仕様の乾燥炉だからと言って安心はできません。気を付けなければならないのが扉を開放した時です。乾燥炉などの扉を開けると瞬間的にブースの中の冷たい空気が下部より乾燥炉内に流れ込んでしまいます。その空気と共に、床や周囲の埃などが運ばれ、乾燥炉内及び製品を汚す事があります。そのため、埃に敏感な製品は上段に置くなどの工夫が必要です。また、扉が開いた瞬間に、乾燥炉の中から上昇気流が発生し、乾燥炉内の汚れが気流と共にブース内に流れ込みます。扉を開けた作業員からの埃も上昇気流に運ばれてしまいます。更に、汚れた気流がFFUの吹き出し口の辺りに飛んで行くと、拡散される恐れがあります。FFUの風速が高いほど気流が乱れやすいので、FFUの風速を管理することが大変大事です。
その他、クリーンブース内の装置で注意すべき点は、様々な装置関係の配置です。クリーンブースの気流は基本的に上から下へのダウンフローであるため、ブース内に何もなければエアーは上から下に流れます。しかし、装置の配置によっては気流が乱れてしまいます。大事なのは、発塵源を上流に設置しないことです。 下図は、レイアウトの悪い例(左)と良い例(右)で、上から見た図です。
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| ■クリーンブース内の理想の気流 | |||||
| ここまで気流の話をしてきましたが、クリーンブースの気流の速さはどれくらいが適切かご存知ですか。気流速度は0.5m/sec以下、そよ風よりもゆっくりな気流です。 喚起回数を多くしたらクリーン度が上がるというものではありません。速い気流は慣性衝突と乱流を起こすためホコリを舞い上げてしまいます。 シーズシーでは乱流を抑えるため、クリーンブースのFFUにCSバルーンを付けることをお勧めしております。 CSバルーンの主な効果は @ 吹き出し速度を低下させて分散し、床からの舞上りを防ぎます。 A 吹き出し面積を大きくとることにより、層流性を作り出すことが出来ます。 層流性が高まると汚染された空気の拡散が低下します。また、CSバルーンを付けることによりブースの立ち上げスピードも向上するメリットがあります。このことからシーズシーの特注クリーンブースは標準仕様としてCSバルーンを装備しています。 |
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