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| 2017.08.21更新 |
| エアシャワーの天井パンチングとCSバルーンの効果検証実験 | |||
| エアシャワー稼働中の庫内清浄度に関しては、ある程度エアシャワー内の換気回数に比例することが一般的ですが、もう一つの要因としてエアシャワー内の乱流に相関すると考えられます。 エアシャワーで除去した塵埃、特に微粒子(0.3〜5μm以下※)が、吹き出し口のない左右上部で乱流により滞留しているため、ドアの開閉に起こる誘引気流と共に、クリーンルーム側へ流入する恐れがあります。 ※=仮に5μm以上の粗粒子であっても繊維系の浮遊する異物で浮遊する場合は同様である。 |
![]() エアシャワーのページ |
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| ドアの開閉時に気流がどのように動くのか、気流可視化装置ミストストリームを使用して動画撮影を行い、エアシャワー内からクリーンルーム側のドアを開けた時の気流の動きを撮影しました。 ※気流を見やすくするため暗室にし、ポラリオンライトでミストストリームから流れる気流を照らして撮影しています。 |
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| このように、気流と共にゴミがクリーンルームに流れ込む可能性があるため、エアシャワー内のクリーン度を保つことが重要となります。 | |||
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| そこで、上部の塵埃の溜まりを防ぐために、天井パンチングを用いてパンカー2個分と同じ風量で上から下へブローすることで上部の塵埃の溜まりを防ぐことが期待できます。パンチングの効果については、実験で検証しました。 |
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測定結果は下図の通りです。
ご覧の通り、パンチング無しの場合は、パンチング有りの場合よりパーティクル数が倍以上多い結果となりました。天井パンチングが塵埃の上部停滞をある程度防げることが分かります。 |
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| さらに、シーズシーのCSバルーンをパンチングパネルの上に設置して、同じ方法でデータを取りました。結果は、パンチングのみよりもCSバルーンを取付けた方が塵埃の数が減りました。効果をあげるのであれば、パンチングにCSバルーンを取付けることで、より効果を得ることが分かりました。 |
![]() CSバルーンの詳細ページ |
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また、一般的に上部ジェット吹き出しに関しては、頭や肩についている毛髪や付着を除去する効果は多大にありますが反面、使用状況によっては早い風速により乱流が発生し、クリーンルーム内へ持ち込みを誘発する危険があります。その場合、CSバルーンを設置することで乱流を和らげる効果が期待できます。 |
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![]() |
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| エアシャワー内の乱流及び塵埃の上部停滞は、異物持ち込みの問題を誘発するだけではありません。取り扱い製品が粉体系でクリーン服への付着が多い場合、飛散した粉体を吸引する危険性もあり得ます。 クリーンルーム内の清浄度とユーザーの健康を考慮すると、エアシャワー内でもクリーンルーム内と同じく、上部から全面に緩やかな気流が必要とされます。 そこで、改善法としては、天井層流用穴および、CSバルーンの組み合わせをお勧めします。 |
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| まとめ | |||
| 今回の実験結果からエアシャワー上部の乱流は、ある程度まで天井からの吹き出し層流でカバーできると言えます。それと同時に、シーズシーの標準エアシャワーの天井層流用穴でも塵埃を半減できますが、CSバルーンを組み合わせることで、より効果を得られることも判明しました。
過去には除塵を主たる目的で、天井からの吹き出しパンカーを取り付けることが主流でしたが、実験結果の通り、クリーンルーム内への持ち込み塵埃を考慮する場合、CSバルーンを取付け、層流性を優先することでエアシャワー内で発生した浮遊塵埃持ち込みが低減できます。 |
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