ホーム > 製品一覧 > クリーンブース > 鋼板製クリーンブース

小型クリーンブースをコストダウン!シーズシーからのクリーンブース提案

鋼板製クリーンブース

クラス10000ブース 鋼板製クリーンブースの需要が増えています。

◆最近は、精密な加工を行う工程や成膜などゴミを嫌う工程、洗浄装置など装置ごとに個別のクリーンブースを計画されるケースが多くなってきました。

◆シーズシーでは、3m×3mまでのクラス1000、10000の小型の鋼板製クリーンブースのラインナップを増強しました。高風量のFFUを搭載し、基本設計を標準化することで、コストダウンすることができました。
クリンブース クラス10000クリーンブースの測定を行いました

※中小企業様向けのお得な情報※

シーズシーが推奨する「CSバルーン式クリーンブース(鋼板製/パネル式)」が、生産時の立ち上がりスピードが早いことから【中小企業等投資促進税制】の規定である「生産性向上」に値するとみなされ、本税制度の対象となりました。

適用期間内に適用対象法人が対象設備を取得すれば、【特別償却】または【税額控除】が適用されます。これを機にCSバルーン式クリーンブース導入を検討してみてはいかがでしょうか?

詳しくはこちら


主な特徴

◆10,13,17立米/分のFFU搭載

外形は同じで風量の違う3つのタイプのFFUを使います。FFUを量産化し、基本設計を標準化することで、コストダウンすることができました。
FFUの詳細はこちら

◆0.5mきざみで価格表示 クラス1000 10000に対応

クラス1000、10000別に1500W×1500D×2000Hから3000W×3000D×2000Hまでのサイズを0.5mきざみで価格表を表示しています。
※価格表はメルマガ会員のページにあります。 上のフォームをご利用ください。
※FED209Dに準拠(0.5μm/cf)

◆換気回数を表示

1時間あたりの換気回数を価格表に表示しています。乱流式なので清浄度は風量で計算しています。参考値なので、これ以外のFFUの搭載も可能です。とりあえず、陽圧化が目的の場合などは少ない風量に変更可能です。
※価格表はメルマガ会員のページにあります。 上のフォームをご利用ください。

◆工場で仮組みして性能チェック

上の写真は工場でのチェック時のものです。
遠方に送る場合でも欠品無く、スムーズに組上げることができます。ローコストでも品質をおろそかにいたしません。
製品仕様
本 体 鋼板焼付け塗装仕上げ
F F U メインフィルター/HEPAフィルター
周 壁 帯電防止ビニールカーテン
電 源  AC200V 3φ 50/60Hz
照明付

クリーンブースの清浄度~クラス10000について

日本にどのクラスのクリーンルームが多いかといえば、クラス10000(FED-209Dにて)のクリーンルーム、もしくはクリーンブースの割合はもっとも多いのではないでしょうか?クリーンルームの入門編ともいえますし、それだけにコスト、仕様が厳しく求められるところです。

ここでは半導体、フラットパネル関係、電子部品関係だけでなく、ガラス、プラスチック、食品、包装、宇宙開発、大学などの実験室、さまざまな分野で一番使われているクラス10000のクリーンブースの清浄度について、実験結果を交えて考えて見ます。

クラス10000クリーンブースの基本仕様

弊社の小型クリーンブースを例にとってみます。
フレームは鋼板製、周辺は帯電防止ビニールカーテン、上部にHEPAフィルターユニットを搭載しています。

1.HEPAフィルターユニットを使用し、内部を陽圧に保ちます。

HEPAフィルターは0.3μm径ののパーティクルを99.97%以上の効率で捕集します。
陽圧にすることで、常にゴミはクリーンブースから外へ追い出されるようになります。

2.乱流方式です。

クリーンブース上部にHEPAフィルターユニットを乗せ、拡散させて室内に吹きだします。
層流方式では、ほとんどゴミは風に乗って全部運ばれますが、乱流式では気流の死角が出来て、かなりの部分がロスになります。

3.換気回数を30~60回/h以上に設定します。

※弊社では40~50回が標準。
換気回数とは、HEPAフィルターユニットの定格風量で1時間あたりに内部の空気をクリーンエアで入れ替えることが出来るかの回数をいいます。※小型の場合、容積に対する発塵量が多くなる可能性があるので、JIS規格9919の附属資料中の換気回数よりやや多目に設定します。
実際のクリーンブースで測定してみました。
クリーンブースの仕様:サイズ:2500×2500×2000H(有効) 
11m/min HEPAフィルターユニット×1台搭載 
換気回数:約53回/h
(1) 上記ブースを通常空間に設置します。まず、無人状態でパーティクルカウンター(リオン社 KR-12A)は中央(床から1mの高さ)に置き、起動と同時に、パーティクルカウンターを人の影響が出ないようにパソコンから操作して測定します。

(2) 次にパーティクルカウンターをコーナーから50cm(床から1mの高さ)のところに移動させ、やはり、無人で測定します。

(3) 次に1名をオーバーオール無塵服を着用し、いすに着席した状態でブース内に入れます。
パーティクルカウンターを中央に置き、同様に測定します。
なお、資料によるとこの状態での人からのパーティクルは14,800個/分となっています。(0.3μm以上)

(4) 今度は同じ状態でパーティクルカウンターの高さを床から50cmに下げます。

(5) 次に有人のまま、パーティクルカウンターをコーナーから50cm、床からの高さを150cmにして測定します。

(6) パーティクルカウンターの高さを1mにします。

(7) パーティクルカウンターの高さを50cmにします。

実験結果から

(1)について この実験を行った部屋は通常、クリーンブースの組立てなどに使用するため、一般的な工場などよりはややきれいな、50万個/cfくらいの環境です。フィルター直下では、起動からたった2分ほどでパーティクルを測定しなくなります。
クラス100でもクラス10000でも同じHEPAフィルターを使用しますので、吹き出し口からの風が直接あたるところは、クラス10000よりもはるかにきれいな空間になります。
(2)について 乱流のため、中央と比べるとかなりパーティクルが緩やかに減少します。それでも、目標の1万以下には6分後には到達します。
1万を過ぎても徐々に減少していることも見て取れます。

※結局、このブースに限らず、クリーンブースの基本仕様を満たしておれば、内部が無塵無稼動で負荷がない場合、風量(換気回数)が少なくても、時間はかかりますが、目標数値には到達することになります。実際の現場では空のままブースだけを動かすことはまずないと思いますので内部発塵がある場合の回復速度に影響すると考えてください。
このページでは実験要領と写真、一部の考察のみを公開しています。

クリーンブース価格表・クラス10000の清浄度測定結果・(3)以下の考察をご覧になるにはメールマガジンの登録が必要です。
  ◆メールマガジンのご紹介
 関連商品
   
お問い合わせは下記のでお選びください。
お見積依頼・購入  仕様のご質問
お見積依頼・ご購入希望の方はメルマガ登録をお勧めします。
※ご登録いただくとメルマガ会員様向けの特別価格でお見積させていただきます。 

シーズシー有限会社
info@csc-biz.com
TEL:078-252-7201
FAX:078-252-7210

SSL GMOグローバルサインのサイトシール このサイトはグローバルサインにより認証されています。SSL対応ページからの情報送信は暗号化により保護されます。 Copyright (C) CSC Co,ltd. All Rights Reserved.

シーズシー有限会社
〒651-0086 兵庫県神戸市中央区磯上通4-3-10 IPSX EAST 606 [google map
本社/Tel.078-252-7201 , Fax 078-252-7210
関東営業所/Tel.080-5330-3142