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 クリーンブースのご紹介

多機能型クリーンブース
ただ清浄度を保つだけではなく、現場に合った様々な機能を追加することが可能です。その一例をご紹介します。
エアシャワー付きクリーンブース
外部からのゴミの侵入を防ぐためのエアシャワー(中古も可能)、パスボックス、前室と組み合わせることができます。
イエロークリーンブース
露光機用や感光剤保管用の紫外線遮断仕様です。
成形機用クリーンブース
プラスチック成型を行う工場向けに特化したご提案ですの一例です。
既設壁や空調を利用したクリーンブース
既設壁や空調を利用することでコストを下げると同時にクリーンルームのように使うことができるクリーンブースの提案です。
排気付きミニエン(逆ミニエン)

発塵する工程から周りに飛散させないように防ぐためのブースの提案です。

鋼板製クリーンブース

3m×3mまでのクラス1000、10000の小型の鋼板製クリーンブースをご紹介します。

クラス10000クリーンブース
クラス10000のクリーンブースの清浄度について、実験結果を交えて考えて見るページです。
加湿器付きクリーンブース
クラス100~10000のクリーンブースを加湿し、清浄空間を保ったまま、静電気対策を行うことが出来ます。

 その他

高温エージング用ブース
熱風発生装置を備えたエージング用のブースです。
装置組み立て用ブース
高い天井高、幅の広い出入り口、キャスター付きで移動が可能なことなど要求されます。
アルミ製クリーンブースのメリット
内部に柱を立てること無しに大きなサイズのクリーンブースを設置できます。
パネル式クリーンブース
見学通路などで中を見せたくない場合やビニールカーテン以上に強度が必要な場合などに向いています。
天井吊りクリーンブース
レイアウトの関係で足を立てることができない場合など、天井から吊り下げ型のクリーンブースです。

高温エージング用ブース

熱風発生装置を備えたエージング用のブースです。HEPAフィルターは装備しておりません。周壁に帯電防止ビニールカーテンを使用したブースですが、40℃程度の温度であれば、吹き出し口を広く取ることで水平方向の分布をかなり抑えることが出来ます。
  
 
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装置組み立て用クリーンブース

近年は、半導体製造装置の組立、その部品製造を行う協力会社や半導体製造装置中古仲介業者の倉庫やリファブリッシュ(refablish)工場でのクリーン化も重要視されています。
こうした装置組み立て用クリーンブースでは、内部で装置を組み立てるのが主目的のため、高い天井高、幅の広い出入り口、キャスター付きで移動が可能なことなどが要求されています。クラスは1~10万程度の場合が主流です。
写真のクリーンブースは軽量で組立て易いアルミフレーム製で天井にトラスを持ち、安定した構造です。
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アルミ製クリーンブースのメリット

内部に柱を立てること無しに大きなサイズのクリーンブースを設置できます。条件にもよりますが、1辺が20mを超えるようなサイズでも製作可能です。

※右の写真は幅3500mmのクリーンブースです。幅方向はW3500×H2150の大きな開口があり、装置の出し入れに大変便利です。もちろん、内部には柱はありません。写真では、ブースの中に更に小型のエージング用ブースを収納しています。

長尺アルミフレームから加工するためにご希望のサイズが可能です。また、既設建屋や設置する装置にあわせた変形も承ります。風量の異なるFFUを配置することにより、清浄度も自由に設定が可能です。
  
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パネル式クリーンブース

見学通路などで中を見せたくない場合やビニールカーテン以上に強度が必要な場合にはアルミサンドイッチパネルでクリーンブースを作成します。側壁はポリカーボネートや帯電防止透明塩ビ板でも可能です。入室用にアルミ扉やエアシャワーに取り付けることができます。
エアコンと組み合わせることで簡易クリーンルームとして使えます。
  パネル式クリーンブース 

パネルタイプブースのオプション

エアシャワー・パスボックスとの組み合わせや、内部に間仕切りを設けたり、アルミドア・取り外しパネル(装置搬入などに)・透明パネル(ポリカーボネート)・下部にビニールシート貼り(ブラックやイエローカーテンも可)などパネル式ならではのオプションも必要に応じてご提案いたします。
  
  
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天井吊クリーンブース

レイアウトの関係で足を立てることができない場合など、天井から吊り下げ型のクリーンブースを設置します。クリーンブース本来の機能はそのままで有効なスペース活用が可能です。
また、大きなサイズのブースで柱数を減らしたい場合にも吊りが有効です。

写真は、上からカーテン取り付け前、天井裏、カーテンを取り付け後の様子です。※段差はオプション。

※施工前に下見が必要になります。
   
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