เกร็ดความรู้เรื่องฝุ่น > ห้องคลีนรูม/มาตรฐานคลีนรูม > ชื่อเรียกคลาสคลีนรูม



















สำหรับผู้ที่ต้องการความรู้เพิ่มเติม!!
ทางเรามีบริการจัดอบรม
ให้ความรู้เรื่องฝุ่น และวิธีการจัดการกับฝุ่นอย่างละเอียด
ซึ่งเป็นเนื้อหาที่ไม่ได้เผยแพร่บนเวปไซต์ ทั้งยังมีภาพและวิดิโอประกอบเพื่อความเข้าใจง่าย


OUR SERVICE
จัดอบรมเรื่องฝุ่น
เพื่อให้หาทาง
จัดการกับฝุ่นได้อย่างได้ผล





sale1@csc-biz.com
TEL: 081-347-8037

ชื่อเรียกคลาสคลีนรูม



คุณเคยสงสัยหรือไม่? ว่าทำไมคลาสของห้องคลีนรูม ถึงมีชื่อเรียกว่า คลาส 100, คลาส 1000, คลาส 10000 ในขณะที่บางทีเรียก คลาส 5, คลาส 6, คลาส 7 ? ชื่อเรียกสองแบบนี้ ต่างกันอย่างไร?
ชื่อเรียกคลาส 100, คลาส 1000, คลาส 10000 นี้ เป็นชื่อเรียกตามหลักเกณฑ์ของมาตรฐาน FED-STD-209D (Federal Standard 209D) ซึ่งเป็นมาตรฐานของอเมริกา ประกาศใช้เมื่อปี ค.ศ. 1963 และเป็นที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย ถึงแม้ในปี ค.ศ. 1992 จะมีการประกาศใช้มาตรฐานใหม่ ชื่อ FED-STD-209E ซึ่งมีการปรับเปลี่ยนแก้ไขการวิธีการแบ่งคลาสและการเรียกชื่อคลาส จากคลาส 100, คลาส1000 เป็นคลาส M1-M7 และต่อมา เมื่อปี ค.ศ. 2001 ได้มีประกาศยกเลิกการใช้มาตฐาน FED ไปแล้วก็ตาม การเรียกชื่อคลาสแบบ FED-STD-209D ก็ยังคงเป็นที่นิยมกันอยู่จนถึงปัจจุบัน

มาตรฐาน FED-STD-209D นี้ตั้งชื่อคลาสของคลีนรูมโดยดูเกณฑ์ของฝุ่นขนาด 0.5 ไมครอนในอากาศปริมาตร 1 ลูกบาศก์ฟุต ซึ่งก็คือ ห้องคลีนรูมคลาส 100 คือ ห้องคลีนรูมที่มีฝุ่นขนาด 0.5 ไมครอนขึ้นไปได้ไม่เกิน 100 ชิ้น หากมีจำนวนเกิน 100 ชิ้น แต่ไม่เกิน 1000 ชิ้น ก็จะจัดว่าเป็นคลาส 1000
ต่อมาเมื่อ ISO ซึ่งเป็นมาตรฐานสากล ได้จัดทำมาตรฐานคลีนรูมขึ้นมา ชื่อว่า ISO 14644 โดยใช้หลักเกณฑ์แบบเดียวกับมาตรฐานอุตสาหกรรมของญี่ปุ่นที่มีชื่อว่า JIS 9920 (Japanese Industrial Standards) คือ ดูเกณฑ์ของฝุ่นขนาด 0.1 ไมครอนในอากาศปริมาตร 1 ลูกบาศก์เมตร และตั้งชื่อคลาสจากเลขยกกำลัง 10 ของเกณฑ์นั้นๆ เช่น ห้องคลีนรูมคลาส 1 คือจะมีฝุ่นขนาด 0.1 ไมครอนขึ้นไปในอากาศปริมาตร 1 ลูกบาศก์เมตรได้ไม่เกิน 10 ชิ้น (มาจากเลขยกกำลัง 101) ห้องคลีนรูมคลาส 5 คือมีฝุ่นขนาด 0.1 ไมครอน ได้ไม่เกิน 100,000 ชิ้น (มาจาก 105) เป็นต้น


※ 1 ไมครอน มีขนาดใหญ่เท่าไร และตาคนเราสามารถมองเห็นได้ที่กี่ไมครอน
หาคำตอบได้ที่หน้าเกร็ดความรู้เรื่อง"ฝุ่นขนาดใหญ่"※



ซึ่งการเรียกคลาสคลีนรูมสองแบบนี้ สามารถเทียบกันได้ ดังนี้
ISO Class 3 = FED Class 1
ISO Class 4 = FED Class 10
ISO Class 5 = FED Class 100
ISO Class 6 = FED Class 1,000
ISO Class 7 = FED Class 10,000
ISO Class 8 = FED Class 100,000
(FED-STD-209D มีทั้งหมด 6 คลาส ส่วน ISO จะมีทั้งหมด 9 คลาส)

พออ่านมาถึงตรงนี้ บางคนอาจคิดว่าการจะจัดระดับคลาสคลีนรูมตามแบบ FED-STD-209D จะต้องดูจำนวนฝุ่นขนาด 0.5 ไมครอนเท่านั้น ส่วนการจะระบุคลาสตามแบบของ ISO ได้ ต้องดูฝุ่นขนาด 0.1 ไมครอนเท่านั้น แต่จริงๆแล้วไม่ได้เป็นเช่นนั้น เราสามารถเลือกได้ว่าจะวัดฝุ่นขนาดเท่าไร ซึ่งเกณฑ์ก็จะแปรผันไปตามสูตรที่กำหนดไว้ในมาตรฐาน เช่น ISO คลาส 6 ได้กำหนดเกณฑ์ตามขนาดของฝุ่นไว้ ดังนี้
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.1 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 1,000,000 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.2 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 237,000 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.3 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 102,000 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 35,200 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 1 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 8,320 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 293 ชิ้น
ต่ออากาศ 1 ลบ.ม.

ส่วนในมาตรฐาน FED-STD-209D คลาส 10 ได้กำหนดเกณฑ์ตามขนาดของฝุ่นไว้ ดังนี้
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.1 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 350 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.2 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 75 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.3 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 30 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 10 ชิ้น
ต่ออากาศ 1 ลบ.ฟุต

และคลาส 1,000 ได้กำหนดเกณฑ์ไว้ ดังนี้
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 1,000 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 7 ชิ้น
ต่ออากาศ 1 ลบ.ฟุต

เมื่อดูแล้ว จะสังเกตได้ว่า มาตรฐานคลีนรูม ทั้ง FED-STD-209D และ ISO 14644 นี้ จะกำหนดเกณฑ์ของฝุ่นขนาดใหญ่สุดไว้ถึงแค่ขนาด 5 ไมครอน ซึ่งในหน้างานจริง เช่น ในกระบวนการพ่นสีรถยนต์ ที่พยายามควบคุมความสะอาดให้อยู่ในระดับคลาส 100,000 ฝุ่นขนาด 5 ไมครอน ไม่ได้ส่งผลต่องานของผู้ผลิตเลย ขนาดของฝุ่นที่ต้องระวังส่วนใหญ่จะเป็นฝุ่นที่มองเห็นด้วยตาเปล่าได้ เช่น ขนาด 100 ไมครอนขึ้นไป ซึ่งฝุ่นที่มีขนาดใหญ่เช่นนี้ เครื่องมือวัดฝุ่นในอากาศ Particle Counter จะวัดไม่ค่อยได้ (เพราะเครื่องมือนี้มักจับได้เฉพาะฝุ่นขนาดเล็ก) ดังนั้น ถึงแม้จะวัดห้องคลีนรูมด้วย Particle Counter แล้วไม่เจอฝุ่น ก็อย่าได้นิ่งนอนใจไป เพราะไม่ได้หมายความว่า ในห้องจะไม่มีฝุ่นขนาดใหญ่

Particle Counter เครื่องมือสำหรับใช้วัดปริมาณฝุ่นในอากาศเพื่อระบุคลาสคลีนรูม
รายละเอียด Particle Counter ⇒


แต่ Particle Counter จะวัดฝุ่นเพียงแค่ในระยะเวลาหนึ่งๆเท่านั้น
หากต้องการดูจำนวนฝุ่นอย่างต่อเนื่องตลอดทั้งวัน ต้องใช้
Particle Sensor Box
ซึ่งสามารถบอกอุณหภูมิและความชื้น
ทั้งยังบันทึกข้อมูลลง SD Card ไปเปิดดูในคอมพิวเตอร์ได้อีกด้วย
หลักการทำงานและความแตกต่างระหว่าง Particle Counter กับ Particle Sensor
ทำไมห้องคลีนรูมถึงจำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิและความชื้น?

มาตรฐานการวัดฝุ่นบนผิววัตถุ

ในปัจจุบัน การสร้างห้องคลีนรูมเป็นไปอย่างแพร่หลายมากขึ้น จากที่เคยทำกันเฉพาะในสายงานเซมิคอนดักเตอร์ก็ได้แพร่ขยายไปยังสายงานอื่นๆ และสายงานที่เฝ้าระวังเป็นฝุ่นขนาดใหญ่ก็มีเพิ่มมากขึ้น ทางสมาคมการกรองอากาศของญี่ปุ่น (JACA: Japan Air Cleaning Association)ได้ออกมาตรฐาน SPC(Surface Particular Cleanliness)ไว้ใน JACA №42-2006 โดยจะแบ่งคลาสระดับความสะอาดบนผิววัตถุออกเป็น Class 1-8 โดยดูปริมาณฝุ่นขนาด 0.05 - 500 ไมครอน ในพื้นที่ 1 ตร.ม.(แต่เวลาตรวจวัดจริง ดูฝุ่นแค่ในพื้นที่ 100ตร.ซม. หรือคิดเป็น 0.01ตร.ม.ก็พอ)
เช่น SPC Class 1 จะกำหนดเกณฑ์ตามขนาดของฝุ่นไว้ ดังนี้
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.05 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 200 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.1 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 100 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.2 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 50 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 0.5 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 20 ชิ้น
ฝุ่นขนาดตั้งแต่ 1 ไมครอนขึ้นไป ห้ามมีเกิน 10 ชิ้น
ต่อพื้นที่ 1 ตร.ม.

ที่เครื่อง RACCAR (Coarse Particle Counter)จะมีช่องบอกจำนวนฝุ่นที่คิดเป็น ตร.ม.

เมื่อดูจำนวนฝุ่นในช่อง ฝุ่นที่มีขนาดใหญ่กว่า 100 ไมครอน (ช่องสีแดง)
จะเห็นว่าบนแผ่นเก็บตัวอย่างฝุ่นมีฝุ่น 13 ชิ้น และวงเล็บข้างๆมีเขียนไว้ว่า 2.59e3ชิ้น /m2 นั้นหมายถึง 2,590 ชิ้น ต่อ ตร.ม.
ถ้าเทียบกับ SPC Class 5 ซึ่งได้กำหนดว่า ห้ามมีฝุ่นขนาดตั้งแต่ 100 ไมครอนขึ้นไปเกิน 1,000 ชิ้น ก็จะถือว่าไม่ผ่าน แต่ถ้าเทียบกับ SPC Class 6 ซึ่งได้กำหนดไว้ว่า ห้ามมีฝุ่นขนาดตั้งแต่ 100 ไมครอนขึ้นไปเกิน 10,000 ชิ้น ก็จะถือว่าผ่าน ดังนั้น สามารถสรุปได้ว่าจุดที่เก็บข้อมูลมานี้มีระดับความสะอาดบนผิววัตถุในระดับ SPC Class 6

และเมื่อปี 2012 ทาง ISO ก็ได้ออกมาตรฐานแบบเดียวกัน เพิ่มเข้าไปใน ISO 14644 ในส่วนที่ 9 โดยใช้หัวข้อ Classification of surface cleanliness by particle concentration หรือเขียนย่อๆว่า ISO 14644-9:2012

ตรวจดูฝุ่นภายในห้องคลีนรูมด้วยอุปกรณ์ของซีเอสซี!!





E-mail: sale1@csc-biz.com
Tel: 081-347-8037, 086-031-9898

วิธีการรักษาระดับคลาสคลีนรูมให้ได้ตามเป้าหมายนั้น สำคัญอยู่ที่การกรองฝุ่นในอากาศออก

ซึ่งเราสามารถทำได้โดยการสร้างคลีนบูธ หรือคลีนเบนช์ ติดชุดพัดลมกรองอากาศ ซึ่งใช้ HEPA ฟิลเตอร์ช่วยกรองฝุ่นในอากาศขนาด 0.3ไมครอนออกได้ถึง 99.99%


หรือติดผ้ากระจายลมไว้ที่ช่องป้อนอากาศเข้าห้องคลีนรูม จะช่วยกระจายลมสะอาดไปได้ทั่วห้องคลีนรูม ลดฝุ่นในอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ
return to top